판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS DUVx210 #9233961

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS DUVx210은 패턴 기판의 직접 이미징을위한 강력한 도구인 Direct Imaging 2D Scanned/Steered Exposure Tool (DiSSET) 입니다. 이 장비는 최신 반도체 장치에 적합한 매우 높은 이미지 해상도로 포토 마스크 (photomask) 와 레티클 (reticle) 의 직접 영상을 가능하게합니다. 이 시스템은 광자 보조 레이저 광을 사용하여 이미지를 기판에 투영합니다. 매우 유연한 단계는 매우 정밀한 정렬 및 스캐닝 (scanning) 을 통해 최고 해상도의 이미징 (이미징) 을 보장합니다. 이는 복잡한 확장 장치에 특히 중요합니다. 이 단위는 또한 이미지 투영의 속도와 정확도를 모두 제어하는 다양한 조향 가능 매개변수 (steable parameters) 를 허용합니다. VEECO 시스템의 VEECO DUVx210 구성 요소는 파장 제어를 위해 Class 2 솔리드 스테이트 레이저 다이오드를 사용합니다. "레이저 다이오드 '는 매우 좁은 파장 분포 와 낮은 잡음비 로 고효율 의 발광 을 한다. 이 도구에는 정확한 파장 제어를 위해 중대역 디지털 제어 에셋이 제공됩니다. 모델의 스테이지는 대용량 스캐닝 범위를 지원하므로 배율을 낮추고, 이미지 해상도를 높일 수 있습니다. 스캔 범위에는 초당 최대 800mm의 xy 스캔 속도와 10nm 반복 기능의 모터 스테이지가 포함됩니다. 디지털 계측기 (DIGITAL INSTRUMENTS) DUVx210 장비에는 강력한 빔 제어 시스템 (Beam Control System) 이 장착되어 있어 사용자가 기판에 투사되는 빛의 크기, 모양, 강도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 광원의 완전한 3 차원 각도 제어를 제공하는 관절 각도 어셈블리가 포함됩니다. 이 기계에는 빔을 빠르고 정확하게 스캔할 수 있는 내장형 디지털 컨트롤 툴 (digital control tool) 이 포함되어 있습니다. 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 를 사용하면 다양한 이미징 환경 및 도구에 액세스할 수 있어 이미지 투영을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이중화 (DUVx210) 자산은 고급 (advanced) 제조 업계에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 최고 품질의 이미징 (imaging) 을 제공하며, 최상의 결과를 보장하기 위해 모델 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이 장비는 반도체 장치, 디스플레이, 광학에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 매우 안정적이고 사용이 간편하며, 광범위한 소프트웨어 툴을 지원합니다 (영문). 이 장치는 또한 다양한 사용자 (user) 와 어플리케이션 (application) 의 요구를 충족시키기 위해 확장성이 뛰어나도록 설계되었습니다. 즉, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 필요에 따라 이미지 처리 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다.