판매용 중고 NIKON Optistation 3100 #293587009

NIKON Optistation 3100은 소미크론 기술을 위한 고정밀 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 넓은 작업 영역, 정확한 로터리 단계, 다양한 품질 보증 (옵션) 지원을 갖추고 있습니다. IC 제조업체, 반도체 설계 회사 및 테스트/검사 실험실의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 최첨단 조명과 이미징 기술을 갖춘 NIKON OPTISTATION-3100 은 매우 높은 정확도로 웨이퍼와 마스크 모두를 검사할 수 있어 가장 엄격한 장치와 구성 요소 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). Optistation 3100에는 총 8 축의 움직임이있는 고해상도 장거리 도량형 현미경이 포함되어 있으므로 2 차원 및 3 차원 설정에서 광범위한 마스크 및 웨이퍼 패턴을 검사 할 수 있습니다. 0.005mm 스캔 해상도를 가지며, 최대 시야는 200mm x 200mm입니다. 동작 단계 (motion stage) 는 강력한 조명 엔진과 함께 정확하고 반복 가능한 움직임을 만들 수 있으므로 마스크 형상과 모서리 프로파일을 서브 미크론 (sub-micron) 수준까지 정확하게 측정 할 수 있습니다. OPTISTATION-3100은 NIKON이 이미지 및 분석 소프트웨어를 혁신하여 제어합니다. 이 장치는 선명한 고해상도 이미지로 거의 모든 유형의 결함을 시각화할 수 있습니다. 또한 오버레이, 임계 치수, 결함 검토, 자동 수정, 등록, 여러 측정 기능 등 강력한 분석 도구가 있습니다. 이를 통해 사용자는 이미지를 다른 그룹이나 유형으로 분류, 정렬하고, 관심 영역을 효과적으로, 또는 자동으로 대상으로 하고, 통과/실패 기준에 대한 자동 결정을 내릴 수 있습니다. 이미지 처리 기능 외에도, NIKON Optistation 3100에는 다양한 고급 기능 테스트 및 패턴 시뮬레이션 프로세스가 포함되어 있습니다. 교차로 누락, 돌출, 에지 손실, 미로 등 다양한 유형의 결함을 감지 할 수 있습니다. 기계는 미리 정의된 규칙에 따라 패턴/모델 패턴을 모방 (mimic/model pattern) 할 수도 있으며, 이를 추가 비교를위한 참조 패턴으로 사용할 수 있습니다. NIKON OPTISTATION-3100은 또한 정확한 후속 검사를 위해 자동 정렬 도구를 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 보정 방법을 통해 설치, 전송, 작업을 더욱 간편하게 수행할 수 있습니다. 결론적으로 Optistation 3100은 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적인 선택입니다. 최첨단 이미징 (imaging) 및 분석 기능을 통해 안정적인 결함 감지 및 장치 적합성을 보장합니다.