판매용 중고 NIKON MX-61 #9150938

NIKON MX-61은 높은 처리량 웨이퍼 스테퍼입니다. 대규모 생산, 특히 정확한 사진 해설이 필요한 반도체 산업에서 이상적입니다. MX-61은 최대 6 인치 웨이퍼를 안정적으로 처리 할 수 있으며, 3.2 미크론의 위치 정확도로 뛰어난 화질을 제공합니다. 0.75 미크론 (0.10 미크론) 까지 매우 높은 해상도로 고급 노출을 할 수 있습니다. 처리량은 최적화된 스캔 벡터 설계로 최대화됩니다. NIKON MX-61에는 스캔 분야 전체에서 뛰어난 화질을 유지하는 특허를받은 F-Theta Lens도 있습니다. 이렇게 하면 원치 않는 왜곡이 베이에 유지되고 정확한 필드 교정이 가능합니다. 또한 생산 중에도 초점과 난시를 정확하게 제어합니다. 작동 측면에서 MX-61 (MX-61) 은 전동식 선형 스테이지로 웨이퍼 위치 및 회전을 정확하게 추적할 수 있습니다. 이렇게 하면 고르지 않은 노출을 방지하고 레이어와 레이어를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 NIKON MX-61은 진단 소프트웨어를 사용하여 원격 모니터링을 지원하여 유지 관리를 예측할 수 있습니다. 유지 보수 측면에서 MX-61은 먼지 방지 인클로저 (dust-proof enclosure) 를 갖추고 있으며 장기 사용을 위해 고품질 공기 필터를 제공합니다. 에어베어링 (Air Bearing) 설계는 또한 적용된 힘을 최소화하고 최소한의 마찰을 보장하여 낮은 전력 소비를 허용합니다. 또한, 최대 10 배의 총 확대율로 수동 검사를 할 수있는 CCD 이미징 시스템이 있습니다. NIKON MX-61은 모두 대규모 생산을위한 정확한 사진 해설을 제공하는 고품질 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 선진기술과 기능을 갖춘 반도체 (반도체) 산업과 그 밖의 관련 산업에도 이상적인 선택이다.