판매용 중고 ZYGO Verifire AT #9222106
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판매
ID: 9222106
빈티지: 2002
Interferometer
OS: Windows 10 64 bit
Measurement capability: Measures surface & transmitted wavefront
Measurement techniques: Vibration tolerant phase shifting interferometry
Alignment system: 2-Spot with reticle with 2° capture range
Test beam diameter: 4" (102 mm)
Optical centerline: 4.25" (108 mm)
Laser source: Un-stabilized 633 nm HeNe, Class IIIa
Camera resolution: 1000 x 1000 Pixels
Shutter speed shortest: 20µs
Digitization: 10 bits
Image resolution: 400 µm Over entire FOV (Optically limited)
Image distortion: Up to 2% over entire focusing range
Focus range: ±2 Meters
Mounting configurations: Horizontal / Vertical
Performance:
RMS Repeatability: <0.5 nm RMS 2 - With NO averaging
RMS Wavefront repeatability: <0.4 nm RMS 2 - With NO averaging
Fringe resolution / Slope: >1.5 Fringes/mm / > 150 fringes across aperture
Retrace error @ maximum fringes: 0.13 Waves
Operating environment:
Temperature: 15° to 30°C (59 to 86F)
∆T/∆t: <1.0 °C/15 min
Humidity: 5 - 95% Relative, non-condensing
Vibration isolation: Isolation system recommended for PSI
2002 vintage.
ZYGO Verifire AT는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고급 도구입니다. 웨이퍼, 마스크 및 기타 플랫 표본과 같은 투명 반사 표면에 대한 고성능 분석을 제공합니다. Verifire AT는 정밀 엔지니어링, 최첨단 옵틱 및 고급 제어 시스템의 교차 제품입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 초보자와 고급 연산자 모두를 쉽게 운영할 수 있습니다. 핵심에서 ZYGO Verifire AT는 광학 이미징 장비와 자동 검사 컨트롤러입니다. 중앙 광학 영상 시스템은 특허를받은 고압 공기 베어링 현미경을 사용하며, 이는 직경이 최대 220mm 인 표본의 서브 미크론 해상도를 제공합니다. 이 현미경은 2 개의 독립 축을 사용하여 스테레오 이미징 (stereo imaging) 을 제공하여 일반적으로 전통적인 광학 현미경보다 더 정밀하고 정확한 이미지를 생성합니다. 스테레오 이미징에는 두 개의 개별 이미지가 필요하므로, Verifire AT는 특허를 획득한 듀얼 배럿 (dual barretter) 장치를 사용하여 이미지 스티칭이 필요하지 않습니다. 자동 검사 컨트롤러를 사용하면 검사 프로세스를 완전히 자동화할 수 있습니다. 특히 ZYGO Verifire AT는 자동 단계 및 반복, 후처리 및 조정 기능을 제공합니다. 자동화된 단계 및 반복 (Automated step & repeat) 을 통해 일련의 샘플 이미지를 빠르고 정확하게 캡처할 수 있습니다. 후처리 기능에는 대비 최적화 (Contrast Optimization) 및 자동 결함 감지 (Automatic Defect Detection) 가 포함되며, 둘 다 이중 배럿 효과를 사용하여 크게 단순화됩니다. 마지막으로, Verifire AT는 이미지를 적절하게 배율 조정, 정렬, 집중할 수 있도록 여러 가지 완전 자동 조정 도구를 제공합니다. ZYGO Verifire AT는 또한 샘플의 자세한 기능을 측정해야하는 사람들을위한 매우 정확한 마이크로 미터 측정 기계를 갖추고 있습니다. 이 마이크로미터 도구는 사용자 인터페이스에 직접 통합되어 빠른 측정, 정확한 결과를 제공합니다. 마지막으로 Verifire AT는 확장이 가능하도록 설계되었습니다. 개별 사용자의 요구에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 사용자가 필요한 구성요소만 구입하고 설치할 수 있으므로 손쉽게 맞춤 구성하고 업그레이드할 수 있습니다 (영문). ZYGO Verifire AT는 다양하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 최소한의 노력으로 정확한 이미징과 철저한 검사를 제공 할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 인터페이스, 확장성, 정확한 측정 모델을 갖춘 Verifire AT는 모든 검사 연구소에 적합한 툴입니다.
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