판매용 중고 ZYGO PTI-01 #9238260

ZYGO PTI-01은 자동 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 이 도구는 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 광학 이미지를 미리 정의된 템플릿과 비교하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 이미지의 불규칙성 (불규칙성) 을 감지하여 운영 프로세스에 문제를 일으킬 수 있도록 설계되었습니다. 그것 은 "마스크 '나" 웨이퍼' 의 잠재적 결함 을 생산 초기 단계 에 식별 하는 데 도움 이 되는 고도 의 정밀 장치 이다. PTI-01은 다양한 자동 광학 및 이미징 기술을 사용하여 고려 중인 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 검사합니다. DOE (Diffractive Optical Element) 를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 이미지의 정보를 캡처합니다. 그런 다음 이러한 이미지는 CAI (Computer Aided Imaging) 및 QIA (Quantitative Image Analysis) 를 사용하여 저장 및 분석합니다. CAI (CAI) 는 이미지를 참조 템플릿과 비교하여 마스크 또는 웨이퍼의 결함 또는 불순물을 감지하는 데 사용됩니다. 이는 결함 영역, 겉보기 크기, 결함 심각도와 같은 측정을 통해 수행됩니다. QIA는 이미지의 불규칙성 (예: 현미경, 색상 이상, 결함 유형) 을 더 분류하는 데 사용됩니다. 또한 ZYGO PTI-01은 여러 가지 고급 광학 기술을 사용합니다. 여기에는 이미지 샘플링, 광도 측정, 마이크로 리토 그래피 및 간섭 측정이 포함됩니다. 이미지 샘플링 (Image sampling) 은 정확한 이미지 분석을 위해 마스크 또는 웨이퍼의 고해상도 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 광도 (Photometry) 를 사용하면 이미지의 다른 영역에서 광도를 정확하게 측정할 수 있습니다. 마이크로 리토 그래피 (Microlithography) 는 생성 프로세스로 인해 이미지의 왜곡을 감지하기 위해 사용됩니다. 마지막으로, PTI-01은 간섭 측정을 사용하여 웨이퍼 또는 마스크의 표면 불규칙성을 측정합니다. ZYGO PTI-01은 마스크와 웨이퍼를 효율적으로 검사하는 강력한 도구입니다. 첨단 이미징 기술을 통해 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 이미지를 매우 정확하고 포괄적으로 분석 할 수 있습니다. 이 시스템은 미세 정렬 (microscopic misalignments), 부족한 피쳐 (missing features) 및 서피스 이상 (surface anomalies) 과 같은 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, 이러한 결함을 심각도에 따라 분류 할 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 잠재적인 문제를 최대한 빠르고 효율적으로 파악할 수 있습니다. 이런 식으로, PTI-01은 마스크 및 웨이퍼 생산에서 품질 관리를위한 귀중한 도구입니다.