판매용 중고 ZYGO NewView Maxim GP #9004445

ID: 9004445
Interferometer profilometer White light Fully motorized XYZ tip/tilt stage.
ZYGO NewView Maxim GP는 높은 수율, 높은 처리량 검사 및 검토를 제공할 수있는 고급 Mask & Wafer 검사 장비입니다. 지고 맥심 GP (ZYGO MAXIM GP) 는 다크 필드 (Dark Field), 밝은 필드 (Bright Field) 및 다축 (Multi-Axis) 기능을 조합하여 중요한 측정을 위한 종합적인 도량형 기능을 갖춘 탁월한 이미지 품질과 감지 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 17 인치 터치 디스플레이 (Touch Display) 를 통해 쉽게 스캔 및 탐색할 수 있으며, 저조도 조건에서 작업할 때에도 눈에 잘 띄는 결과를 얻을 수 있습니다. 마스크 & 웨이퍼 (Mask & Wafer) 검사 장치에는 웨이퍼 스테이지가 장착 된 자동 스테퍼 머신과 무한대 렌즈 및 틸테이블 옵틱을 포함한 전체 이미징 옵틱 라인이 있습니다. LED 광원은 가장 일관된 조명을 제공하는 반면, 고급 노이즈 감소 알고리즘은 스트레이 라이트 (stray light) 를 줄이고 유령을 방지합니다. 이 도구는 또한 고유한 반도체 이미징 (semi-conductor imaging) 및 데이터 획득 기술을 통해 빠른 검사 속도와 정확성을 제공합니다. 에셋에 추가 될 수있는 분광 그래프 (spectrograph) 옵션은 입자 검출, 외국 물체 검출 및 오염 분석을위한 완전한 스펙트럼 영상 기능을 제공합니다. 또한 입자, 파편, 오염 물질의 위치와 유형을 식별하여 검사 및 수확을 최적화 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 실패 분석 및 프로세스 제어를 위해 설계된 광범위한 측정 기능과 도구를 가지고 있으며, 마스크 및 웨이퍼를 크기, 다이 와이어 결함, 임계 치수 (critical dimensions) 및 기타 복잡한 구조로 검토 및 측정 할 수 있습니다. 강력한 결함 분류 툴은 복잡한 결함을 파악, 분류, 예측하고, 빠르고 안정적인 정보를 제공합니다. 장비 소프트웨어 및 디스플레이 설정은 특정 작업 요구 사항에 맞게 최적화될 수 있으며, 시스템 교정 확인 루틴 (System calibration verification routine) 은 정확성을 보장합니다. 모든 구성 요소는 쉽게 액세스하고 교체할 수 있으므로 NewView Maxim GP를 쉽게 유지할 수 있습니다. 이 장치는 반도체 산업과 마이크로패브라이션 (microfabrication) 애플리케이션에 적합하며, 품질 및 프로세스 제어를 보장하는 매우 안정적이고 낮은 유지 관리 솔루션을 제공합니다. 따라서 MAXIM GP는 정확한 결과와 신뢰할 수있는 기계가 필요한 제조업체를 위한 효율적이고 고급 Inspection & Wafer 검토 솔루션입니다.
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