판매용 중고 ZYGO NewView Maxim GP #156895
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ID: 156895
Interferometer
Nikon Objective 2.5 TI/0.075
Electronic Enclosure
5 Axis Stage Drive
(2) CRT Monitors
PC Unit
Power Supply
Cables
Measurement Technique:
Phase Modulated/Phase Shifting.
Part Viewing:
Real-time Video Monitor
Focus Control:
Coarse Wheel - 22 mm/turn, with tension adjust
Medium Knob - 4.7 mm/turn, with tension adjust
Fine Knob - 0.2 mm/turn
Vertical Travel:
5.1 in. (130 mm)
Objective Mounting
Single dovetail mount,
Camera Size:
Up to 640 x 480 pixels
Electrical:
Incoming Power from Electronic Enclosure
Operating Environment:
Temperature: 15° to 30°C (59° to 86° F)
Rate of Temperature Change: <1.0°C/15 minutes
Humidity: 5 to 95% relative, noncondensing
Vibration: Frequency Isolation - 1Hz < freq < 120Hz
Performance:
Vertical Resolution: 0.1 nm
Maximum Vertical Step Height: 100 turn
Vertical step height: 100 microns.
ZYGO 뉴 뷰 맥심 GP (ZYGO NewView Maxim GP) 는 반도체 산업의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 종합적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 처리량이 많은 환경에서 마스크 (Mask) 또는 웨이퍼 (Wafer) 샘플의 변화하는 매개변수를 빠르게 측정하도록 설계되었습니다. 이 장치는 강력한 레이저 간섭계와 디지털 이미징 머신 (digital imaging machine) 을 중심으로 만들어졌으며, 둘 다 정확하게 제어하고 쉽게 교정 할 수 있습니다. 레이저 간섭계 (Laser interferometer) 는 샘플의 점 사이의 높이 차이를 측정하여 샘플의 3 차원 미세 구조를 평가합니다. 이를 통해 다양한 샘플 크기에 걸쳐 선 너비 (line width), 패턴 충실도 (pattern fidelity) 와 같은 중요한 특성을 정확하게 측정할 수 있습니다. 그런 다음 도구의 디지털 이미징 구성 요소는 색상 코드 오버레이 (color-coded overlay) 를 사용하여 다른 특성 (예: 에너지 흡수 및 투과율) 을 평가합니다. 이 에셋에는 다양한 종류의 샘플에 대한 검사 (inspection) 프로세스를 최적화하는 다양한 설정이 포함되어 있습니다. 여기에는 입사각, 빔 확대 및 초점 깊이에 대한 조정이 포함됩니다. 또한, 사용자는 주어진 샘플에 필요한 강도 또는 상관 관계를 조정할 수 있습니다. ZYGO MAXIM GP에는 각 검사에서 수집 한 데이터를 분석하는 고급 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 다양한 유형의 샘플, 프로세스, 기기에 걸친 결과를 쉽게 비교할 수 있습니다. 또한 FFT 및 오버레이 (overlay) 와 같은 정교한 분석 도구를 사용하여 운영자가 샘플의 결함을 신속하게 식별 할 수 있습니다. 이 모델은 안전과 편의성을 강조하여 설계되었습니다. 보호 인클로저 (protective enclosure) 는 레이저/빔 방사선 (laser/beam radiation) 으로부터 운영자를 보호하며 장비의 안전성은 인터 록 및 외부 센서로 정기적으로 테스트됩니다. 기계의 모든 구성 요소는 쉽게 액세스할 수 있으며, 유지 보수 (maintenance) 또는 교체 (replacement) 를 위해 신속하게 제거할 수 있습니다. 또한, 시스템은 빠르고 효율적이며, 평균 스캔 시간은 1 분 미만입니다. 뉴 뷰 맥심 GP (NewView Maxim GP) 는 고급, 종합적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서 높은 처리량 조건에서 탁월한 데이터 정확성과 강력한 성능을 제공합니다. 고급 컴포넌트 (advanced component) 는 뛰어난 이미징 기능을 제공하여 샘플의 중요한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 최적화된 기능, 안전 기능, 사용 편의성을 통해 반도체 업계 전문가들이 신속하고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 검사를 원하는 최적의 선택이 됩니다.
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