판매용 중고 ZYGO NewView 7300 #9276460

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ID: 9276460
3D Optical profiling system Stage, 8" Mega pixel camera: Automated 3-position multiple system With 1.0x Zoom lens Low noise Large field Digital closed loop piezo scanning Transducer Capacitive: 150 Micron scan Illuminator with LED Accommodates objectives: 1x - 100x Extended scan, 20 mm Vertical res: < 0.1 nm RMS Repeatability: < 0.01 nm Accessory: 6-Axis Base stage Motorized Tip / tilt: X / Y / Z and theta included Travel: X / Y, 8" Z, 4" Rotation: +/- 90 Degree PR travel: +/- 4 Degree Options / Accessories: Part number / Description 6300-0459-01 / Electronics, Power Kit 110/120 VAC (US) Included base system 6300-0650-02 / Manual encoded turret (4-Pos) (NV 600 / 700 / 6000 / 7000) 6300-0526-02 / Accessory: 2.0x Field zoom lens 6300-0522-02 / Accessory: 0.5x Field zoom lens 6300-0593-01 / Objective: 5x Michelson objective 6300-0595-01 / Objective: 20x AF Objective 6300-0597-01 / Objective: 50x Objective, thermally compensated 1840-700-105 / Vibration isolation table, 24 x 24 x 30 (LWH) 6300-2080-01 / Workstation table 6300-3434-01 / Workstation table, 1840-700-105 (NV 5000, 6000 and 7000 Series) / 1840-700-015 (GPI, MESA) 1776-666-012 / Accessory, SiC precision reference flat (30 mm Diameter) 1670-000-020 / Accessory, standard lateral calibration 1776-666-010 / Accessory, standard step height standard 1.75 um.
ZYGO NewView 7300 (ZYGO NewView 7300) 은 마스크 제조업체와 반도체 제조업체에 강력하고, 신뢰할 수 있고, 비용 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 개발된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 구성 요소로 구성된 완전한 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 이 장치는 마스크, 실리콘 웨이퍼, 평면 패널의 고속 이미징을위한 고급적이고 정밀한 광학 하위 시스템을 갖추고 있습니다. 광학 구성에서는 4개의 밝고 펄스된 1밀리미터 파장의 LED를 사용하여 감도 및 광시야를 확장합니다. 또한, 기계는 ZYGO 전용 특수 광학 엔진을 사용하여 최대 웨이퍼 커버리지를 제공합니다. ZYGO NEW VIEW 7300은 또한 512MB RAM이 장착 된 32 비트 듀얼 코어 프로세서를 제공하며, 대형 다이 지오메트리의 고 처리량 스크리닝 및 분석을 위해 서브 미크론 해상도와 속도를 제공합니다. 이 도구는 하이브리드 C.A.R. (Chromatic Aberration Reduction) 기술을 갖춘 독특한 Real Image Capture를 사용하여 정확성과 해상도를 향상시킵니다. 대규모의 멀티벤더 (multi-vendor) 작업은 디바이스 라이브러리와 재료 매개변수 설정 (material parameter settings) 을 통해 지원되므로 운영 결과물의 성능을 최적화할 수 있습니다. 자산에는 여러 이미지 분석, 통계 분석, 다차원 이미지 다이빙, 스펙트럼 수율 분석 기능 등 다양한 분석 도구가 제공됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 강력한 자동화 기능을 제공하여 심각한 결함을 상세하고 신속하게 검토할 수 있습니다. 또한 결함, 장애 분석, 프로세스 결함 진단 및 수리에 대한 대규모 다이-바이-다이 (die-by-die) 검사를 지원합니다. 또한 NewView 7300은 대형 웨이퍼를 처리하기 위한 여러 가지 고급 기능을 제공하며, 여러 개의 챔버 설정을 지원합니다. 다중 레이어 마스크 검사 모델은 단일 패스에서 최대 10 개의 레이어를 검사 할 수있는 반면, 전체 웨이퍼 검사 장비는 단일 패스에서 최대 25 개의 레이어를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 귀환 및 추적을 위해 특허를받은 X, Y, Z 프리즘 스택, 치수 도량형. NEW VIEW 7300은 자동 웨이퍼 전송 및 전송, 멀티 베이 로드 포트, 샘플 준비 시스템 등 여러 웨이퍼 처리 서브시스템과도 호환됩니다. 이 제품은 다양한 타사 자동화 시스템과 통합되어 수작업 없이 "웨이퍼 (wafer) '를 전송하고 추적할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 컴팩트한 디자인과 최소한의 예비 (spare) 요구 사항을 갖춘 간편한 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 결국 ZYGO 뉴 뷰 7300 (ZYGO NewView 7300) 은 마스크 성능, 웨이퍼 형상, 피쳐 치수를 가장 빠르고 효율적으로 모니터링할 수 있도록 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 머신입니다. 고급 기능, 뛰어난 정확성, 유연성 등을 제공하여 높은 처리량을 선별하고 얻을 수 있습니다.
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