판매용 중고 ZYGO NewView 7100 #9059521
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ID: 9059521
Surface Structure Analysis System
Optical 3D profiler, P/N: NV6K-0110
Sample stage: motorized X-Y axis, 6" x 6" travel, manual tip/tilt, Z-axis control, P/N: NV6K-0232
5x Michelson interferometer, P/N: NV6K-0451
20x AF Mirau interferometer, P/N: NV6K-0512
Manual 4-position turret with encoder, P/N: NV6K-0312
SiC flatness standard, 30mm d, P/N: NV6K-0710
Workstation table: P/N: 6300-3434-01
Vibration isolation table, P/N: 1840-700-105.
ZYGO NewView 7100은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 고해상도 자동 간섭 이미징을 제공합니다. 이 최첨단 검사 장비는 실시간 이미징을 활용하여 나노미터 수준의 해상도로 마스크 및 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. NewView 7100 은 데이터 수집, 분석, 보고 및 워크플로우 관리 기능이 통합된 컴팩트한 설계로, 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. ZYGO NewView 7100은 가변 노출 이미지, 와이드 필드 이미징, 간섭 이미징, 위상/높이 이미지를 포함하는 고급 이미징 도구 집합으로 제작되었습니다. 이 시스템은 기존의 다크 필드 이미징 (Dark Field Imaging) 장점을 지닌 화이트 라이트 간섭 (White Light Interference) 을 활용하여 여러 고해상도 이미지를 빠르게 연속적으로 캡처할 수 있습니다. 이 장치의 강력한 옵틱스 (optic) 는 최소한의 소음으로 높은 명암비를 제공하는 실시간 가상화를 제공합니다. NewView 7100은 범위 내 마스크 및 웨이퍼 검사 작업에 사용하도록 설계되었습니다. ZYGO NewView 7100은 웨이퍼 결함 특성화, 오버레이, 저항 또는 비저항 이미징에 사용되든, 신뢰할 수 있는 이미징 결과를 제공할 수 있습니다. 이 기계는 낮은 반사도, 먼지, 입자 및 기타 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 자동 이미지 최적화 (Automated Image Optimization) 및 균일 한 이미지 플랫 필드를 제공하여 우수한 검사 결과를 얻을 수 있습니다. NewView 7100은 작동과 정밀 제어가 용이한 고급 소프트웨어 제품군으로 설계되었습니다. 이 도구는 직관적인 사용자 인터페이스, 마크업, 자동 보정 기술 및 보정 재정의 기능을 최신으로 제공합니다. ZYGO NewView 7100 소프트웨어에는 강력한 인공 지능 및 이미지 분석 도구가 포함되어 있어 데이터를 손쉽게 관리, 분석할 수 있습니다. 또한 이 자산에는 보다 간편한 스토리지, 검색, 검사 결과를 아카이빙할 수 있는 통합된 결함 데이터베이스가 포함되어 있습니다. NewView 7100은 자동 결함 감지, 분류 및 보고 기능을 제공합니다. 여기에는 특정 항목 및 결함 분류에 대한 사용자 정의/사전 정의된 기준에 따른 결함 분류가 포함됩니다. 또한 3 단계 검사 (triple-phase inspection) 프로세스를 포함하여 모델을 일관되고 안정적인 정확도로 결함을 식별하고 분류 할 수 있습니다. 전반적으로 ZYGO NewView 7100은 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 고해상도 옵틱, 직관적인 소프트웨어, 강력한 이미징 툴셋을 갖춘 이 장비는 빠르고 안정적인 검사 결과를 제공합니다. '신뢰성' 과 '정확성' 을 제공하므로 '정확성' 이나 '속도' 를 그대로 유지하면서 검사도 정확하다는 확신을 얻을 수 있습니다.
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