판매용 중고 ZYGO NewView 6300 #9188823
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ID: 9188823
3D Optical surface profiler
System analyzes wide range of surfaces including:
Smooth
Rough
Flat sloped
Stepped
Profile heights ranging:
Sub-nanometer to millimeters at high speeds
Measurement technique:
Non-contact
Scanning white light
Optical phase-shifting interferometry
Scanner:
Closed-loop piezo-based with highly linear capacitive sensors
Focus: Motorized / Auto focus
Power: 100-240 V, 50/60 Hz.
ZYGO NewView 6300 Wafer and Mask Inspection 장비는 자동 비접촉 광학 도량형 시스템으로, 웨이퍼 및 마스크에서 장치 기능을 빠르고 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 고해상도 이미징과 스캐닝 튜닝 가능한 레이저 간섭 현미경 (STILI) 을 결합하여 다양한 반도체, 옵토 전자 및 광학 기계 제조 측정에 적합합니다. ZYGO NEW VIEW 6300에는 자동 단계 (automated stage) 가 있으므로 웨이퍼 또는 마스크의 넓은 영역을 정확하게 스캔하고 측정 할 수 있습니다. 첨단 광학은 최대 0.1 미크론 (미크론) 의 해상도를 제공하여 매우 작은 기능과 구조를 측정 할 수 있습니다. 작동 거리는 8mm, 시야는 최대 25mm, NewView 6300은 1 분 이내에 웨이퍼 또는 마스크의 장치 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. NEW VIEW 6300에는 STILI 기술이 적용되어 정확하고 정확한 기능을 측정 할 수 있습니다. STILI는 레이저 간섭법 (Laser interferometry) 을 사용하여 가장 작은 지형 피쳐를 측정하며, 사용자가 극도로 정확하게 프로파일, 기울기, 높이 및 기타 서피스 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 또한 박막 스택 (Thin-film Stack) 이나 광학 코팅 (Optical Coating) 과 같은 다양한 박막 증착 레이어를 통해 측정 할 수 있습니다. ZYGO NewView 6300은 또한 다른 응용 프로그램에 대한 여러 검사 모드를 제공합니다. 포토리스 이미징 (photoresist imaging), 평면 화 (planarization), 리소그래피 (lithography) 또는 증착 (deposition) 과 같은 프로세스에서 높은 정확도로 장치 피쳐를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 전극 리프트 오프, 마스크 결함 분석 및 웨이퍼 얇음에도 사용할 수 있습니다. 이 장치는 사용 및 설치가 용이하며, 최소한의 운영자 교육이 필요합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 사용자가 시스템을 빠르고, 오류 없이 설치하고 실행할 수 있습니다. 또한 ZYGO NEW VIEW 6300은 신뢰성이 높고 정확합니다. 기능 측정을 위해 5nm 이상의 반복 (repeativility) 을 달성할 수 있으며, 다양한 애플리케이션 요구에 적합합니다. 또한 여러 유형의 표면 피쳐뿐만 아니라 산화 (oxidation), 증착 (deposition), 저항 (resistivity) 특성 등 다양한 기능을 측정할 수 있습니다. 뉴 뷰 (NewView) 6300은 정확한 웨이퍼 및 마스크 검사를 위한 효율적인 도구로서, 탁월한 속도와 정확성을 제공합니다. 손쉬운 사용자 인터페이스와 고해상도 (고해상도) 광학으로, 정밀마스크 (precision mask) 와 웨이퍼 (wafer) 측정이 필요한 모든 제조 공정에 적합한 제품입니다.
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