판매용 중고 ZYGO NewView 5000 #9008672
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ID: 9008672
Interference Microscope
Dell PC installed by OEM
Win 7.0 and MetroPro 9.0.10
Includes:
(6) indexed positions of image zoom
Includes (3) objectives
Manual X/Y and tip/tilt stage with motorized Z-axis with turret
Includes vibration isolation table with workstation desk
Profile heights ranging rom >1 nm up to 5000 um at speeds up to 10 um / s with 0.1 nm height resolution, independent of magnifications and feature height
Variable image zoom
5-position manual or motorized turrets capability
Profile areas up to 50 x 50 mm and larger
Image stitching capabilities
Closed-loop prezo-based scanner
Highly-stable metrology
Ultra-rigid support structure
Granite base foundation
Reduced footprint dynamically stabilized vibration isolation table
Fully integrated ergonomic workstation
Gage capability
NIST-traceable standards
Interfaced to Pentium based PC
Password protection on applications
Various standard and optional automation modules
Programmable stages
Standard and custom sample fixturing
Integrated autofocus.
ZYGO NewView 5000은 다양한 검사 작업을위한 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 레티클 및 마스크 제작에 대한 전면 분석을 가능하게하며 광학, SEM (Scanning Electron Microscope) 및 Raman 분광법을 포함한 다양한 이미징 기술을 결합하여 다중 계층 검사를 용이하게합니다. 이 시스템은 불투명 샘플과 3D 구조 모두에 탁월한 해상도와 명암비 이미징을 제공하는 혁신적인 광학 이미징 (optical imaging) 기술을 사용합니다. 이를 통해 미세 입자, 결함 및 왜곡을 탐지할 수 있으며, 재료를 나노 미터까지 고밀도 이미징할 수 있습니다. ZYGO 5000은 최첨단 스캔 전자 현미경 (SEM) 을 통해 향상된 검사 기능을 제공합니다. 여기에는 실시간 작업에서 최대 200 나노 미터의 향상된 이미지 해상도와 5 나노 미터의 뛰어난 이미지 해상도가 포함됩니다. 고해상도 패턴과 구조를 검사하고 결함 찾기 (defect-finding) 와 컴포넌트 평가 (component-evaluation) 를 달성하는 데 이상적입니다. 이 장치는 또한 재료 조성을 분석하기 위해 Raman 분광법 (RS) 을 수행 할 수 있습니다. 이 비파괴 기술은 이물질 및 오염 물질 식별, 증착 과정의 균일성 결정, 레이어 변경 확인 (verify layer changes) 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 또한 NewView 5000은 자동 패턴 인식, 복잡한 이미지 처리, 입자 분석 등을 지원하는 포괄적인 소프트웨어 제품군도 제공합니다. 이 직관적인 소프트웨어는 웨이퍼 (wafer), 레티클 (reticles), 마스크 (mask) 의 물리적 결함을 감지하고 측정할 수 있으며 불투명 재료와 3D 구조에 대한 패턴 변형이 가능합니다. 이 기계는 간단한 작동, 웨이퍼 로드 및 언로드, 샘플 변경을 가능하게 하는 뛰어난 기계적 설계를 갖추고 있습니다. 또한 두꺼운 웨이퍼, 레티클, 다양한 모양, 크기와 같은 기판을 다룰 때 유연성을 제공합니다. 5000 은 현재 시장에서 사용할 수 있는 최고의 성능 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공합니다. 이 제품은 Wafer (Wafer) 구성의 최고 품질의 결과를 보장하여 정확한 디바이스 성능을 보장하는 데 필수적인 툴입니다.
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