판매용 중고 ZYGO NewView 5000-5032-DS #9269321
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ZYGO NewView 5000-5032-DS 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 포토 마스크 및 웨이퍼에 대한 고정밀 비파괴 검사를 위해 설계된 고급 광학 도량형 도구입니다. 이 시스템은 고급 옵틱 (optic), 레이저 (laser), 전자 제품 (electronics) 을 활용하여 다양한 고급 기능과 기능을 제공하여 결함을 파악할 수 있습니다. 이 장치는 45도 시야각, 정적 및 동적 이미지 캡처, 자동 초점 및 백라이트 조명 장치를 갖춘 극저온 냉각 2 메가 픽셀 RGB CCD 카메라로 구성됩니다. 따라서 최대 25mm x 25mm의 최대 시야각 크기가 가능합니다. Z 드라이브를 갖춘 빠르고 효과적인 X-Y 모션 머신과 함께 나노 미터 수준의 그래픽 측정이 가능합니다. ISSMPC (image-stabilization tool) 도 (ISSMPC) 로 인해 외부 안정화 된 요인이 진동 또는 기타 환경 요인으로 인해 지속적인 스캔 이동을 일으킬 수있는 측정 조건에서 정확한 결과를 얻기 위해 통합됩니다. 에셋은 고화질 RGB 색상 신호 또는 일반 모노 신호를 사용하여 작업할 수 있습니다. 또한 디지털 및 기존 아날로그 광 필터를 모두 지원합니다. 또한, 스캔된 이미지에 정확한 디지털 데이터 보정을 직접 적용하여 측정치를 향상시킬 수 있습니다. ZYGO NEWVIEW 5000 5032-DS는 고급 옵틱을 사용하여 스크래치, 스팟, 먼지 입자 등 가장 작은 기능을 감지하며 반도체에서 보이는 기능보다 작게 감지 할 수 있습니다. 스테레오 이미징, 위상 이동 간섭법, 프린지 투영 (fringe projection) 및 광도 비교를 사용하여 하이 픽셀 밀도 웨이퍼 및 마스크를 90nm까지 쉽게 검사할 수 있도록 설계되었습니다. mura 및 박막 결함을 감지 할 수도 있습니다. 이 모델은 정확성과 일관된 결과를 얻기 위해 "표준 실리콘 참조 칩 (Standard Silicone Reference Chip)" 이라는 고유 한 기능을 사용하여 여러 가지 칩 유형 및 프로세스를 검사합니다. 또한 ZYGO 심층 분석 소프트웨어 인 GOTO (Geometric Testing Equipment) 는 기존 도량형 시스템보다 더 깊은 결함을 식별하고 분석하는 데 도움이됩니다. 또한 결함 있는 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 생산 하기 전 에 "패턴 '을 식별 하는 데 도움 이 된다. NewView 5000-5032-DS는 마스크 또는 웨이퍼 검사에 정확한 결과를 제공하기 위해 안정적이고 널리 사용되는 시스템입니다. 이 고급 도량형 도구 는 "엔지니어 '와 과학자 들 이 가장 작은 결함 을 밝혀내어" 웨이퍼' 와 "마스크 '생산 비용 을 줄이는 데 도움 이 된다.
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