판매용 중고 ZYGO NewView 200 #9117660
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판매
ID: 9117660
Scanning white-light interferometer
Dell computer
Software: MetroPro 64-bit version 9.1.6
OS: Windows 7
5x Magnification
Fully motorized with X-Y-Z tip/tilt stages
Cap-feed scanner.
ZYGO NewView 200은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 내장형 카메라, 컴퓨터, 디스플레이를 갖춘 디지털 이미징 플랫폼 (digital imaging platform) 을 활용하여 마스크와 웨이퍼를 정확하고 정확하게 검사합니다. ZYGO 200 의 직관적인 사용자 인터페이스를 사용하면 마스크 및 웨이퍼 이미지 분석 및 보고 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 이 장치는 주어진 시간에 최대 5 개의 다른 마스크/웨이퍼 이미지를 얻기, 저장 및 비교할 수 있습니다. 고급 디지털 이미지 처리 (Advanced Digital Image Processing) 기능을 사용하면 마스크/웨이퍼 표면에 존재할 수있는 미묘한 기하학적 결함을 식별하고 특성화할 수 있습니다. 도량형 기능에는 두 점 사이의 거리를 측정하는 기능 (피쳐와 결함 식별, 피쳐 토폴로지 확인) 이 포함됩니다. 디지털 이미지를 정확하고 정확하게 캡처하고 분석하기 위해, 뉴뷰 200 (NewView 200) 은 다양한 방법과 기술을 활용합니다. 이미징 프로세스의 중심에는 고속 CCD 카메라가 있습니다. 이 카메라는 "TTL (through-the-lens)" 디지털 이미징 기술을 사용하여 각도 또는 위치에서 선명하고 상세한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 그런 다음 사진은 TrueScan 및 ImageEval과 같은 특수 소프트웨어를 사용하여 캡처 된 데이터를 분석하고 측정하는 온보드 컴퓨터 (On-board Computer) 에서 처리합니다. 기계의 디스플레이는 비교를 용이하게 하기 위해 여러 이미지를 다양한 형식으로 표시 (display) 할 수 있습니다. 또한 이 도구는 고해상도 RGB 디스플레이 (High Resolution RGB Display) 를 통해 분석을 자세히 보고 표시합니다. 온보드 소프트웨어는 단순한 마스크 검사 (mask inspection) 및 확인 (verification) 에서부터 고급 특성 (characterization) 및 도량형 (metrology) 기능에 이르기까지 다양한 사용자 옵션을 제공합니다. 사용자 지정 보고 템플릿도 사용할 수 있습니다. 즉, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤식 보고서를 쉽게 생성할 수 있습니다. 또한, 이미지를 원격으로 저장, 액세스하여 여러 위치에서 이미지를 공유할 수 있습니다. 빠르고 안정적인 운영을 위해, 200은 단순하고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로 설계되었습니다. 이를 통해 연산자는 메뉴를 쉽게 탐색하여 필요한 기능에 액세스할 수 있습니다. 또한, 에셋 (asset) 에는 카메라와 장비의 다른 구성 요소를 정확하게 조정하는 프로세스를 통해 사용자를 안내하는 모델 교정 마법사 (model calibration wizard) 도 포함되어 있습니다. 결론적으로, ZYGO NewView 200 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 마스크와 웨이퍼에 대한 정확하고 정확한 시각적 검사 및 분석을 제공하기 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 통합 카메라, 컴퓨터, 디스플레이를 갖춘 이 장치는 단순하고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 에서 다양한 맞춤형 구성, 데이터 스토리지, 보고 기능을 제공합니다.
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