판매용 중고 ZYGO MicroLUPI #9280679
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ID: 9280679
Interferometer
Worktable
Vibration isolation table
Laser power supply
Motor driver assembly
X/Y stage
Motion controller
Power manager.
ZYGO MicroLUPI - Mask and Wafer Inspection Equipment는 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 기술의 획기적인 기술입니다. "마스크 '나" 웨이퍼' 의 크기 나 종류 에 있어서 현미경적 결함 을 직접적 으로 시각화 함 으로써 결함 탐지 및 수선 에 있어서 유례 없는 정확성 을 제공 한다. 이 시스템은 크기가 1 나노미터 (nanometer) 미만인 결함을 감지하고 연산자가 각 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 찾을 수 있도록 합니다. 마이크로 루피 (MicroLUPI) 장치는 고급 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소로 구성되어 있어 웨이퍼 또는 마스크를 빠르고 정확하게 테스트 및 분석할 수 있습니다. 여기에는 고급 광학, 자동 패턴 인식 알고리즘 및 특수 목적 소프트웨어가 포함됩니다. 사용자는 마스크나 웨이퍼 (wafer) 의 가상 표현을 제공하여 3D로 결함을 시각화할 수 있습니다. 이 기술 조합을 통해 사용자는 가장 작고, 가장 어려운 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 특허를 받은 이미지 확대 (magnification) 하드웨어와 소프트웨어를 활용하여 여러 수준에서 마스크나 웨이퍼를 분석합니다. 사용자는 배율을 최대 1 만 5000 배까지 조정하여 결함을 명확하게 파악하고 찾을 수 있습니다. 이 도구는 패턴화된 영역의 이미지를 단 몇 초 만에 최대 800 개 캡처하여 사용자가 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 의 세부 뷰를 신속하게 얻을 수 있습니다. 자산은 토폴로지 (topological) 및 치수 (dimensional) 결함을 동시에 감지하여 사용자가 토폴로지 (topology) 의 차이점과 재료의 두께를 분별할 수 있습니다. ZYGO MicroLUPI의 정교한 검사 알고리즘은 각 결함을 자동으로 식별하고 정량화하도록 설계되었습니다. 이 프로세스는 특수 광학 장치, 정교한 이미지 인식 소프트웨어, 강력한 패턴 인식 알고리즘 (pattern recognition algorithm) 을 사용하여 연산자가 고유한 결함을 감지하고 분류할 수 있습니다. 이 데이터는 추가 분석을 위해 저장되거나, 즉시 결함을 복구하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로 MicroLUPI는 강력하고 정확도가 높은 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 초고해상도를 통해 가장 작은 결함을 감지하고 수리하는 동시에 마스크 (mask) 나 웨이퍼 (wafer) 를 철저히 분석할 수 있습니다. 이 다양성을 통해 사용자는 복잡한 구조와 간단한 패턴을 쉽게 분석 할 수 있습니다. ZYGO MicroLUPI (ZYGO MicroLUPI) 는 가장 어렵고 작은 결함조차도 감지하고 수리하기위한 완벽한 솔루션입니다.
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