판매용 중고 ZYGO Mark IV #9292128

ZYGO Mark IV는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 다양한 재료에 대한 포괄적인 결함 감지 기능을 제공하는 자동화된 멀티 센서 (multi-sensor) 검사 도구입니다. 이 시스템은 여러 가지 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 결합하여 사용자에게 탁월한 정확도와 해상도를 제공합니다. LIM (Laser Interference Microscopy) 은 표면 결함을 감지하는 데 사용되며 APR (Automated Pattern Recognition) 이라는 고급 모듈은 석판 관련 결함에 대한 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 데 사용됩니다. 또한, DSI (Defocus Sensitivity Imaging) 는 입자와 작은 결함의 서브 미크론 검출을 제공하는 데 사용되며 CCD (Charge Coupled Device) 카메라는 광각, 패턴 별 결함을 캡처하는 데 사용됩니다. 또한 자동화된 결함 분류 (automated defect classification) 와 상세한 결함 라이브러리 (detailed defect library) 를 비롯한 여러 사용자 친화적 기능을 갖추고 있습니다. 이 라이브러리에는 이전 대상의 측정이 포함되어 있어, 유사한 대상을 빠르고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 결함 보고 중에 오류를 더 줄이고 정확도를 높이기 위해, 기계는 여러 결함 필터링 알고리즘을 통합합니다. 이 알고리즘은 사용자의 검사 요구사항에 맞게 조정할 수 있습니다 (영문). 자동화 측면에서 Mark IV에는 ATC (Automatic Tool Centering) 프로세스 및 DST (Defect Split Tool) 와 같은 기능이 있어 공구의 설정과 작동을 단순화합니다. 또한 ADM (Automated Defect Mapping) 도구는 거의 어디에서나 사용할 수 있는 포괄적인 결함 밀도 맵을 만드는 데 사용됩니다. 또한 웹 기반 보고 기능을 통해 한 화면에서 결함 관련 데이터를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다 (영문). ZYGO 마크 IV (ZYGO Mark IV) 는 종합적인 기능을 제공하는 것 외에도 무중단 운영을 위해 설계되어 최대 가동 시간과 효율성을 보장합니다. 이 모델에는 모듈식 (Modular) 설계가 포함되어 있어 검사 요구 사항에 따라 장비를 쉽고 경제적으로 업그레이드할 수 있습니다. 결국, Mark IV는 포괄적이고 자동화된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 사용자에게 탁월한 감지 정확성과 해상도를 제공합니다. 고급 이미징 (Imaging) 및 결함 필터링 (Defect Filtering) 기능을 갖춘 이 장치는 다양한 제작 프로세스에 적합합니다.