판매용 중고 ZYGO Mark III #76467
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ID: 76467
Interferometer
Zoom 1x - 6x
Remote control for Zoom, Focus, fast switching between Align and View mode
Aperture 4" (102mm)
Including 4" Phase Shifter from Zygo
Including high voltage amplifier from ASTRO ELECTRONIC, built into the MK-III
Line voltage: 120V or 230V
For interferogram analysis: IntelliWave Software from Engineering Synthesis Design, Inc. is recommended (not included)
The original Vidicon camera has been replaced by a modern CCD camera, it's a SONY XC-ST51CE:
Vertical 50 Hz, horizontal 15625 Hz, alternatively a 60Hz camera is possible too
Transmission sphere is not included.
ZYGO Mark III는 웨이퍼 및 마스크 검사에서 탁월한 정확성과 정확성을 제공하는 고정밀 도량형 도구입니다. 와퍼, 마스크, 포토 마스크 및 기타 기판에서 미세한 기능을 측정하는 데 사용되는 광학, 비접촉 이미징 장비입니다. 이 시스템은 고품질 옵티컬 디자인, 고성능 이미징 유닛, 고급 소프트웨어 알고리즘을 갖추고 있습니다. Mark III는 광학 렌즈와 회절 광학 요소 (DOE) 를 결합한 독특한 이미징 아키텍처를 기반으로합니다. 이러한 구성 요소는 왜곡이 적은 고해상도 이미지 (High-resolution Image) 를 제공하며, 전통적인 렌즈 디자인의 색수차를 효과적으로 제거합니다. 이미징 머신은 다양한 기판 재료의 매우 상세한 이미지를 캡처하도록 설계되었습니다. 매우 작은 입자를 감지하고, 표면 거칠기를 측정하고, 광산 특성을 정량화할 수 있습니다. 또한 먼지, 이온, 분자, 박막 등 여러 종류의 입자를 검출하는 등 다양한 탐지 기능이 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 (mask inspection) 소프트웨어 알고리즘을 통해 사용자는 신속하게 결함을 감지하고, 프로세스를 최적화하고, 육안으로는 보이지 않을 수 있는 바람직하지 않은 기능을 확인할 수 있습니다. ZYGO Mark III는 DSP (Digital Signal Processing) 기술을 사용하며 측정 안정성과 정확성이 뛰어납니다. 실시간 128 포인트 위상 보상 도구와 ANR (Advanced Noise Rejection) 알고리즘이 있습니다. 이 두 가지 특징은 측정의 정확성과 정확성을 보장하며, 보다 정확한 이미지를 제공합니다. 이 자산은 또한 자동 초점, 자동 레벨링, 화면 보정 (on-screen calibration) 과 같은 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. Mark III는 매우 정확하고 정확한 측정을 제공하는 고급 모델입니다. 이를 통해 다양한 검사 응용프로그램에서 신속하게 결함을 감지하고, 프로세스를 최적화할 수 있습니다. ZYGO Mark III는 최첨단 옵티컬 디자인, 고성능 옵티컬 이미징, 고급 소프트웨어 알고리즘, 정확한 측정, 매우 안정적이고 정확한 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다.
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