판매용 중고 ZYGO Mark II #76460
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ID: 76460
Interferometer
Zoom: 1x - 6x
Remote control for zoom and focus
Aperture: 4" (102mm)
Line voltage: 120 V or 230 V
SONY XC-ST51CE
Vertical: 50 Hz
Horizontal: 15625 Hz
Not included:
IntelliWave software from engineering synthesis design
4" Transmission flat
4" Return flat
Video monitor
Computer analysis.
ZYGO Mark II는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 웨이퍼 및 마스크 검사에 사용됩니다. 광학, 물리적 및 전기 기술의 조합입니다. 시스템은 스캔 현미경, 광학 레이저 간섭계, 시각 검사 모듈로 구성됩니다. 주사 현미경은 표본의 표면 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 광학 레이저 간섭계 (optical laser interferometer) 는 치수, 서피스 평면도, 서피스 곡률과 같은 표본의 중요한 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 시각 검사 모듈은 표본의 정렬, 표면, 미세 구조를 검사하는 데 사용됩니다. 현미경의 광학 부품은 고해상도 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 는 수직, 측면 위치 및 표본 표면의 높이 변화를 측정하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 거리, 속도, 온도 및 위치를 측정하는 데 사용되는 디지털 인코더 (digital encoder) 도 있습니다. 마크 II 머신 (Mark II machine) 은 미립자 오염 물질, 핀 홀, 공극과 같은 광범위한 표면 결함과 표면 거칠기, 결함 크기 분포와 같은 더 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 디지털 이미징 소프트웨어 (digital imaging software) 를 사용하면 분석과 비교를 위해 많은 수의 이미지를 신속하게 생성할 수 있습니다. 자산은 표본의 전기 행동 (예: 저항성 증가 또는 반바지 존재) 의 이상을 감지 할 수도 있습니다. 이를 통해 표본의 전기 테스트 중 결함을 감지 할 수 있습니다. ZYGO Mark II 모델은 또한 표면 변형, 응력 구배, 골절 강인성, 가소성과 같은 광범위한 기계적 스트레스를 측정 할 수 있습니다. "스트레스 '농도 와 표본 의 변형" 에너지' 를 측정 할 수 있다. 이 장비는 완전 자동화 (Fully Automated) 되고 생산 공정에서 실행되도록 설계되었습니다. 제어 인터페이스를 사용하여 사용자는 시스템 작업을 프로그램, 실행, 모니터링할 수 있습니다. 특정 응용 프로그램 (Application for a Specific Application) 의 유닛을 설정하거나, 시리즈 (Series) 의 여러 작업을 실행하는 데 사용할 수 있습니다. 마크 II (Mark II) 는 광학, 물리 및 전기 기술을 결합하여 반도체 제조를위한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 머신입니다. 다양한 기능을 통해 다양한 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 빠르고 정확하게 검사할 수 있으며, 복잡한 반도체 구조의 신뢰성 및 품질 보장에 이상적인 도구입니다.
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