판매용 중고 ZYGO Mark GPI-XPS #9258818
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ID: 9258818
Interferometers
GPI Controller
Phase Measuring Receptacle (PMR)
Kinematic tilt tip reference flat mount
Handheld controller
No computer
Cables.
ZYGO Mark GPI-XPS는 고급 포토 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 특허 출원 후 처리 (patent-pending post-processing) 기술을 사용하여 해상도, 정확도, 속도 측면에서 결과 품질을 극대화하여 작고 복잡한 패턴의 대규모 어레이를 검사하는 데 이상적입니다. 이 장치에는 풀 필드 이미징을위한 2 개의 카메라가 장착되어 있습니다. 첫 번째 카메라는 밝은 필드 검사에, 두 번째 카메라는 어두운 필드 이미징에 사용할 수 있습니다. 이미지 해상도는 1.2 äm이며, 고해상도 웨이퍼 및 마스크 검사에 이상적입니다. Mark GPI-XPS는 직경 225mm (일반적인 200mm 웨이퍼 검사 시스템보다 큰) 의 웨이퍼를 검사 할 수 있으므로 프로세스 누출 검사기에 적합합니다. 이 기계는 또한 두 카메라 모두에 대한 높은 압축, 저소음 이미징 디자인을 갖추고 있습니다. 이 설계는 전체 노이즈 레벨을 줄이고 고품질 이미지를 생성하는 데 도움이 됩니다. 이 도구에는 고급 조명 장치 (High-End Illuminator) 가 장착되어 있어 다양한 검사 요구 사항을 위한 정밀 조명을 제공합니다. ZYGO Mark GPI-XPS는 또한 패턴 일치 알고리즘을 통해 결과를 참조 이미지 데이터베이스와 비교합니다. 에셋은 미리 정해진 기준과 일치하는 피쳐를 검색한 다음 '동일' 및 '고유' 로 식별합니다. 이 자동화된 절차는 잠재적인 결함을 보다 정확하게 파악하고 잘못된 (false) 양성을 줄이는 데 도움이 됩니다. Mark GPI-XPS는 또한 사용자에게 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 직관적 인 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 이 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자는 신속하게 모델을 설정하고, 마스크와 웨이퍼 (wafer) 검사를 수행할 수 있습니다. 이 인터페이스는 또한 자동화된 결함 감지 툴을 통해 이해하기 쉬운 결과를 제공하므로 사용자가 신속하게 이상을 파악할 수 있습니다. ZYGO Mark GPI-XPS는 포토 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램을위한 이상적인 장비입니다. 고해상도 이미징, 자동화된 결함 감지 (automated defect detection), 직관적인 운영 기능을 결합하여 수율을 높이고 프로세스 안정성을 최적화합니다. 이 시스템은 다양한 검사 요건에 적합하며, 확실한 결과를 얻을 수 있습니다.
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