판매용 중고 ZYGO Mark GPI-XPS #9115906

ZYGO Mark GPI-XPS
ID: 9115906
Interferometer Camera: 1k x 1k.
ZYGO Mark GPI-XPS 장비는 반도체 제조 업계가 최신 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 자동화된 자동 정렬 및 고해상도 이미징 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 발견된 작은 결함을 정확하게 측정할 수 있습니다. 하위 미크론 레벨 장치에서 작은 세부 사항을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치에는 인체 공학적으로 설계된 작업 공간이 있으며, 이를 통해 복잡한 표본 준비, 정렬 및 측정이 가능합니다. 자동 자동 정렬용 듀얼 존 (Dual-Zone) 싱글 암 조작기, 고해상도 이미징용 고감도 CCD 카메라, 간편한 사용자 인터페이스를 위한 대형 LCD 터치 스크린이 포함되어 있습니다. Mark GPI-XPS는 주기적 수차 (가장자리 불일치, 기복), 빔 틸트 오류, 의사 텍스처 패턴, 스크래치 및 산란 효과와 같은 결함 유형을 측정 할 수 있습니다. 이 기계에는 와퍼의 개별 칩을 분석하는 데 사용되는 고속 단수 (High Speed Singulation) 기능이 있습니다. ZYGO GPI-XPS 도구는 결함 토폴로지 분석을위한 결함 크기 측정과 3 차원 (3D) 프로파일을 가능하게 하는 높은 배율 이미징을 제공합니다. 방출 레이저 현미경을 이용하여 결함 부위를 조사하여 전자 빔 (electron beam) 또는 이온 빔 (ion beam) 조사 패턴을 측정합니다. ZYGO Mark GPI-XPS 에셋에는 반도체 업계의 응용 분야에 이상적인 다양한 고급 기능이 있습니다. 자가 잠금 기능 (self-locking feature) 은 모든 표본을 안전하게 보관하는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 운영자가 모델 작동 방법을 빠르게 배울 수 있도록 도와줍니다. 또한 고속 스캐너 (scanner) 를 장착하여 운영자가 전체 웨이퍼를 초 단위로 볼 수 있습니다. Mark GPI-XPS 시스템은 반도체 산업과 관련된 모든 사업에 이상적인 투자입니다. 정확하고 일관성 있는 측정 기능을 제공하며, 사용하기 쉬운 인터페이스 (interface) 를 제공하여 모든 경험 수준의 사용자에게 적합합니다. ZYGO Mark GPI-XPS 장치는 고급 기능으로, 반도체 제조 산업의 엄격한 요구 사항을 충족시키는 안정적이고 효율적인 방법입니다.
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