판매용 중고 ZYGO GPI XP #293810537

ZYGO GPI XP는 뛰어난 이미징 기능을 갖춘 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 웨이퍼를 생산하는 동안 결함 검토 (defect review) 및 특성 (characterization) 에 사용하도록 설계되었습니다. 프로세스 제어 및 프로세스 최적화의 여러 단계에 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 2 축 스캔 플랫폼과 고해상도 이미지 획득 장치 (High-resolution Image Acquisition Unit) 의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 2축 스캐닝 플랫폼은 반도체 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 반복적이며, 안정적으로 스캔할 수 있도록 설계되었습니다. 멀티 채널 설계는 다양한 이미징 채널을 결합하여 유연성과 성능을 향상시킵니다. 이미지 획득 기계는 각각 15mm x 15mm 면적의 2 개의 CCD (charge-coupled device) 이미지 센서로 구성되어 반도체 결함의 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 이 도구는 정확한 결함 식별, 위치 정밀도, 고속 이미징 및 동적 이미징 기능을 제공합니다. 결함 있는 다이 (die) 를 쉽게 찾고, 결함의 크기와 모양을 파악하며, 오프라인 분석을 위해 오류 다이 이미지를 자동으로 아카이브하도록 설계되었습니다. 또한, 자동 정렬기 (Automatic Aligner) 기능을 통해 수작업 없이 결함이 있는 사이트를 즉시 배치할 수 있습니다. ZYGO GPIXP (ZYGO GPIXP) 에는 또한 결함 신호를 최적화 및 정렬하여 보고 정확성과 신뢰성을 향상시키는 강력한 포스트 프로세싱 툴이 포함되어 있습니다. 또한, 이 자산에는 이미지 저장, 검색, 작업 추적, 데이터 분석, 시각화 (visualization) 등 효율적인 결함 분석을 위한 귀중한 워크플로우 관리 기능이 통합되어 있습니다. GPI-XP (GPI-XP) 는 반도체 생산에 유용한 툴로서 결함을 신속하게 파악하고 특성화하기 위한 고급 분석을 제공합니다. 탁월한 이미징 기능, 고급 결함 감지 기능, 강력한 포스트 프로세싱 (post-processing) 및 워크플로우 (workflow) 관리 기능을 통해 프로세스 제어 및 제품 품질을 최적화할 수 있습니다.