판매용 중고 ZYGO GPI XP #293808773
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ID: 293808773
빈티지: 2009
Interferometer
Spatial sampling: 320 x 240 Pixels
5-Axis stage
Laser:
Type: Helium-neon
Wavelength: 632.8 nm
Maximum output power: <2 mW
Output power at aperture: <1 mW
Test beam diameter, 4"
Coherence length: >100 m
Optical:
XP Zoom range: 6:1
XP Aperture focus: -800 mm +1200 mm
Optical center line: 4.25"
Operating environment:
Temperature: 15°C to 30°C
Rate of temperature change: <1.0°C/15 minutes
Humidity: 5 to 95%
DELL PC
Hard Disk Drive (HDD)
CD-ROM
Floppy Disk Drive (FDD)
Color monitor, 19"
Power supply: 90-240 VAC, Single phase, 75 W, 50/60 Hz
2009 vintage.
ZYGO GPI XP (ZYGO GPI XP) 는 공장 또는 실험실 환경에서 최고 품질의 제품을 생산하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그것 은 크고 작은 구조 를 "나노미터 '규모 까지 측정 할 수 있으며," 반도체' 소자 와 기타 제품 의 생산 을 위한 강력 한 도구 이다. 이 시스템은 모든 기능을 갖춘 모듈식 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장치이며 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구는 나노메트릭 배율 임의의 형상 (nanometrically-scaled arbitrary geometries) 및 다중 레이어 구조 (multi-layer structure) 와 같은 복잡한 패턴을 자동으로 스캔하고 검사할 수 있는 정밀 도구입니다. 또한, 유연한 설계를 통해 모듈을 손쉽게 통합하고 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. ZYGO GPIXP는 독점적 인 고급 방사선 영상 및 탐지 기계를 사용합니다. 이 도구는 마스크 및 웨이퍼 표면 기능 분석을 위해 레이저 도량형 기술 및 독점 소프트웨어를 사용합니다. 빠른 패턴 (pattern) 및 피쳐 식별 (feature identification) 및 분류 (classification) 를 수행합니다. 또한 에셋의 포토 마스크 비교기 기능을 사용하여 포토 마스크, 웨이퍼 및 레티클에서 인쇄 된 패턴을 비교할 수 있습니다. 이렇게 하면 선, 공백, 비아, 접점 등 모든 피쳐가 존재하고, 적절하게 구성되며, 균일하게 정렬됩니다. GPI-XP는 광학 및 기타 현미경 방법 (microscopy method) 보다 높은 확대 수준을 제공하는 최신 렌즈 내 이미징 (in-lens imaging) 으로 설계되어 운영자가 전례없는 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다. 이 모델은 또한 기울기 (tilting), 회전 (rotation) 및 이동 제어 (movement control) 의 전체 제품군으로 설계되었으므로 운영자의 요구에 따라 정확하게 보정 할 수 있습니다. GPI XP (Advanced Automation Capability of GPI XP) 의 고급 자동화 기능은 결과의 안정성과 재현성을 향상시켜, 설정 시간을 단축하고, 결과의 정확성에 대한 자신감을 높입니다. 이러한 자동화 기능은 장비의 고급 소프트웨어 (advanced software) 패키지와 하드웨어 모듈 (옵션) 을 통해 가능합니다. 하드웨어 모듈은 자동 웨이퍼 정렬 (Automatic Wafer Alignment) 및 이미지 스티칭 (Image Stitching) 과 같은 고유한 기능을 제공하는데, 이는 정상적인 감지 방법을 사용하여 측정하기에는 너무 작은 기능을 신속하게 분석하는 데 도움이 될 수 있습니다. 전반적으로 ZYGO GPI-XP는 품질 제품이 생산되도록 귀중한 도구를 제공합니다. 정확성, 유연성, 간편한 통합은 마스크와 웨이퍼 검사에 이상적인 선택입니다.
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