판매용 중고 ZYGO GPI XP #293757767

ZYGO GPI XP (ZYGO GPI XP) 는 오늘날의 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능, 전체 기능의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완전 자동 검사, 결함 분류 및 식별, 2D 결함 분류, 3D 결함 정량화와 같은 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 마스크 및 섀도우 이미지를 포함하여 전체 웨이퍼에서 최대 200nm (결함) 까지 감지할 수 있습니다. 이 장치의 중심에는 광도, 정확도, 초점 제어 향상, 풀 컬러 프로그래밍 가능 현미경이 있습니다. 이 광학 현미경에는 프로세스 제어 및 데이터 분석 (data analysis) 소프트웨어의 통합 머신이 함께 제공됩니다. 내장형 소프트웨어 계층은 간편한 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 손쉬운 작동을 통해 공구를 단순화합니다. ZYGO GPIXP는 정렬, 결함 감지, 분류 등 다양한 자동화 프로세스 단계를 제공합니다. 이미지 처리 알고리즘은 여러 유형의 결함을 빠르고 정확하게 식별하도록 설계되었습니다. 고급 기능에는 상호 연결 라인, 3D 기능 및 매크로 기능을 감지하는 기능이 포함됩니다. GPI-XP는 또한 표현된 결함 유형을 각 카테고리로 분리 할 수있는 고급 분류 알고리즘 (Advanced Classification Algorithm) 을 제공합니다. 프로세스 요약 도구 (process summary tool) 를 사용하면 여러 분석 실행을 신속하게 비교할 수 있으며, 결함 유형과 크기 모두에서 더 많은 비교 범위를 얻을 수 있습니다. 정교한 결함 감지 및 분류 기능 외에도, GPI XP에는 현장 측정, 결함 밀도 측정 및 신호 확인 모듈도 포함됩니다. 또한 자동 초점 추적 기능을 통해 측정 정확도와 이미지 품질을 높일 수 있습니다 (영문). 결국, GPIXP는 고급, 모듈식 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 고품질 제품의 생산을 보장하는 포괄적인 기능과 정교한 알고리즘을 제공합니다. 광 및 소프트웨어 시스템은 처리량 (throughput) 과 프로세스 정확도 (process accuracy) 를 극대화하면서 허위 결함 감지를 최소화하도록 설계되었습니다. 마스크 또는 웨이퍼 검사에 사용되든, ZYGO GPI-XP는 거의 모든 검사 작업을 완료할 수 있는 유연성과 안정성을 제공합니다.