판매용 중고 ZYGO GPI XP #293668228

ZYGO GPI XP는 다양한 웨이퍼 및 마스크에서 최적의 3D 도량형 성능을 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 동적 파장 교정과 결합된 듀얼 프로브 (dual probe) 기술을 사용하여 모든 웨이퍼 유형에 걸쳐 서브 미크론 (sub-micron) 수준의 해상도를 달성하고 높은 정확도로 비접촉 이미지를 제공합니다. 자동화된 도량형 솔루션은 웨이퍼 (Wafer) 검사의 복잡성을 크게 줄여 처리량이 높고 TCO (소유 비용) 가 낮습니다. ZYGO GPIXP 시스템은 고급 광학, 전자 및 역학 기술을 기반으로하며, 서브 미크론 수준에서 수백만 개의 데이터 포인트를 획득, 처리 및 분석하도록 설계되었습니다. 2 개의 통합 레이저 프로브를 자동 초점 장치 (automated focus unit) 와 결합하여 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 내부 및 외부 표면에서 동시에 샘플링할 수 있습니다. 또한, 고속 스캐닝 기술을 통해 신속하고 비접촉 (non-contact) 데이터 획득이 가능하며, 단일 스캔에서 여러 구조를 측정할 수 있습니다. GPI-XP 머신에는 고급 데이터 처리 (advanced data processing) 및 계산 알고리즘 (computational algorithm) 이 있으며, 이는 웨이퍼 또는 마스크 내에서 결함 또는 불균일 성을 안정적으로 감지하고 분석 할 수 있습니다. 또한 자동 마스크 정렬 및 정렬 보정이 포함되어 있어 높은 정확도 도량형을 지원합니다. 또한 데이터 검색 및 제어가 용이하도록 Analyses Dashboard ™ 와 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 다양한 검색 결과를 추적할 수 있는 포괄적인 문서 (Documentation) 기능을 제공합니다. 또한 각 고객 (Customer) 의 구체적인 요구를 충족하기 위해 구성 능력이 뛰어나도록 설계되었습니다. GPI XP 에셋은 내장된 기능 외에도 고급 도량형 소프트웨어 (Metrology Software) 와 함께 제공되어 종합적인 측정 보고서를 생성합니다. 이 소프트웨어에는 사용자 정의가 가능한 소프트웨어 도구 모음도 포함되어 있으며, 치수 (dimension) 및 프로파일 측정 (profile measurements), 웨이퍼 청결 (wafer cleanliness), 등록 (registration) 과 같은 응용 프로그램의 검사 전략을 최적화하는 데 사용할 수 있습니다. 요약하면, ZYGO GPI-XP는 서브 미크론 정확도를 제공하기 위해 고급 광학, 전자 및 역학 기술을 통합 한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 제품은 2D 및 3D 비접촉 이미징, 자동 초점 및 정렬, 정확한 보고서를 생성하는 포괄적인 소프트웨어 솔루션을 갖추고 있습니다. 여러 웨이퍼와 마스크에 걸쳐 정확하고, 추적 가능하며, 반복 가능한 측정이 필요한 애플리케이션에 적합합니다.