판매용 중고 ZYGO GPI LC #9410066

ZYGO GPI LC (ZYGO GPI LC) 는 제조 과정에서 웨이퍼 제품의 결함과 오염물을 정확하게 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 해상도, 정확성 및 반복성을 갖춘 포괄적인 자동 검사 제품군을 제공합니다. ZYGO GPI-LC는 전체 기판 표면의 적용 범위를 제공하는 180도 검사 모듈로 구성됩니다. 이것은 단일, 이중 및 트리플 패스 구성 내에서 전체 180도를 검사함으로써 달성됩니다. 이 장치는 고해상도와 고속 이미징 기능을 갖추고 있으며, 검사는 2 미크론 이상의 정확도로 수행됩니다. 동일한 시스템 구성으로 프로토 타입 마스크 (Prototype Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 를 검사하여 공구 설비 및 프로토콜 변경이 필요하지 않습니다. 이 도구에는 고급 독점 조명기, 카메라, 광학 렌즈 (optical lense) 가 장착되어 있어 다양한 검사 응용 프로그램이 가능합니다. 조명기에는 조정 가능한 조명 각도와 고출력 LED 표시등이 있어 빠른 속도와 뛰어난 명암으로 이미징을 구현할 수 있습니다. 카메라는 최첨단 센서 기술을 활용하는 반면, 광학 렌즈는 고해상도 마스크, 웨이퍼 이미지를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 운영자는 검사 프로세스를 자동화하고 쉽게 통합할 수 있습니다. 운영자 콘솔 메모리 관리, 전원 재설정 (power-on-reset) 및 데이터 보안 기능을 통해 안전한 운영 및 데이터 보호를 지원합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 에셋 메뉴와 기능을 쉽게 탐색할 수 있습니다. GPI LC는 생산 라인에서 엄격하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 유연한 설치 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 제공하는 컴팩트한 폼 팩터 (form factor) 를 제공합니다. 밀봉된 광학 부품은 먼지와 이물질로부터 보호하도록 설계되었으며, 밀폐된 검사 헤드 (enclosed inspection head) 는 프로세스 연속성을 활성화하고 스캐닝 오류를 줄입니다. 전체적으로 GPI-LC는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 안정적이고 강력한 장비를 제공합니다. 이 시스템은 자동화되고 고급 이미지 획득/처리 도구를 제공하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 장치는 안정성 및 보호 기능이 향상되어 손쉽게 작동, 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 고해상도 기능을 갖춘 ZYGO GPI LC는 업계 최고의 마스크와 웨이퍼 검사를 제공합니다.