판매용 중고 ZYGO GPI LC #293747146

ZYGO GPI LC (ZYGO GPI LC) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 안정적인 광학 성능과 정확한 결함 감지 기능을 제공하여 회로 및 미크론 수준의 고해상도 이미징 및 정확한 결함을 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 새로운 강력한 레이저 공백 현미경을 갖추고 있으며, 마스크 및 웨이퍼에 대한 높은 처리량 검사를 가능하게하면서 정확하고, 서브 미크론 해상도와 반복 성을 제공합니다. ZYGO GPI-LC는 뛰어난 결함 감지 및 향상된 광학 성능을 제공하며, 여기에는 더 높은 명암비, 더 높은 수치 조리개 (NA) 정확도 및 더 높은 처리량이 포함됩니다. 높은 NA 기능을 통해 서브 미크론 (sub-micron) 결함을 감지 할 수 있으며, 고급 패턴 인식 알고리즘을 통해 뛰어난 명암으로 정확한 이미지를 만들 수 있습니다. 또한 자동화된 이미지 획득 및 분석 기능을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 결함 시각화, 마스크 모서리 감지, 결함 짝짓기, 거리 (SD), 임계 치수 (CD) 측정 및 에지 감지를 포함하여 마스크 검사를위한 광범위한 내장 도구가 있습니다. 또한, 이 기계는 고급 광학 이미징 (optical imaging) 및 처리 기술을 사용하여 피쳐 모서리를 측정하여 어두운 필드와 밝은 필드 이미징에 대한 정확한 측정을 보장합니다. 이 도구는 직관적인 사용자 인터페이스와 자동 처리 (automatic processing) 기능을 통해 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 또한 충격/결함 분석, 피쳐 감지, SD 측정, 선 너비 패턴 등 빠르고 정확한 평가와 여러 측정이 가능합니다. 이 자산은 또한 ZYGO DR3 (Advanced Defect Recognition) 소프트웨어와 완전히 통합되어 마스크 검사를 위한 종합적인 솔루션을 제공합니다. GPI LC는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 최첨단 도구로서, 고성능 결함 감지를 보장하면서 정확하고 안정적인 이미징을 제공합니다. 다기능· 내장형 툴과 더불어 자동화와 유연성이 뛰어난 설계를 통해 반도체 제조업체에게는 정확하고 정확한 이미징 (imaging), 결함 (defect detection) 을 필요로 하는 귀중한 도구다.