판매용 중고 ZYGO AV 6010T #293608585

ZYGO AV 6010T
ID: 293608585
Automated inspection systems.
ZYGO AV 6010T는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 최적의 생산 수율을 보장하도록 설계되었습니다. 프로세스 제어, 품질 관리, 장애 분석 및 최종 수익률 관련 문제에 이상적입니다. 이 시스템은 자동 광학 현미경 (AOM) 을 사용하여 자동화된 비파괴 웨이퍼 테스트 및 마스크 두께 측정을 사용합니다. 이 장치의 이미징 머신은 컨트롤러, 광 모듈, 테스트 헤드 (10x 및 20x 이미지 목표) 를 포함한 일련의 광학 기계식 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성 요소는 빠른 웨이퍼 이미징을 위해 설계되어 동적 결함 감지 (Dynamic Defect Detection) 및 확인 기능을 제공합니다. ZYGO 6010T는 또한 자동 개체 추적 도구 (automated object tracking tool) 를 사용하여 입자 결함을 감지, 분류 및 보고 할 수 있습니다. 자산에는 업계 표준 데이터 분석 (data analysis) 패키지, 이미지 처리 라이브러리 (image processing library) 등 포괄적인 소프트웨어 툴이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하여 사용자는 모델을 사용자 정의하여 테스트 결과를 신속하게 분석하고 '수정 조치 (corrective action)' 를 강구할 수 있습니다. 또한 자동 패턴 인식 알고리즘이 포함되어 있어 마스크 지형을 자세히 분석 할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 단계 자동화, 광원 및 고급 안정기 시스템 (Advanced Stage Automation) 을 포함한 다양한 웨이퍼 검사 액세서리가 포함되어 있습니다. 이 액세서리는 최고 수준의 정확도, 정확도로 검사를 수행하도록 설계되었습니다. ZYGO 6010T (ZYGO 6010T) 는 이미징 기능 외에도 다양한 마스크 측정 및 비교 기능도 제공합니다. 여기에는 자동 유리 두께 측정, 이미지 정렬 및 결함 감지 (Image Alignment and Defect Detection), 다양한 레이어 및 서피스의 데이터를 비교하여 차이를 감지하는 기능이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 종합적인 도량형 (metrology) 기능을 갖추고 있으며, 검사 된 웨이퍼에서 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 여기에는 프로파일, 영역, 아웃라인 측정, 결함 분류 및 테스트 알고리즘이 포함됩니다. 전반적으로 AV 6010T는 프로세스 제어, 품질 관리, 최종 수익률 관련 문제에 이상적인 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다. 업계 표준 데이터 분석 (data analysis) 및 이미지 처리 도구, 고급 검사 액세서리 (advanced inspection accessory) 및 종합적인 도량형 기능을 갖추고 있어 테스트 결과를 효과적이고 정확하게 분석 할 수 있습니다.
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