판매용 중고 ZYGO 8100 #107493
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ID: 107493
빈티지: 1997
Inspection system
L-R process flow
Fully automated
2D and 3D data
SMEMA
Scan 19" x 19" board
Edge throughput conveyor
UPS battery backup
Software version: 4.1c
Monitor, keyboard, and trackball stand
Solder paste inspection
Co-planarity inspection
Component placement inspection
Solder joint shorts and bridges inspection
Light tower
Facilities requirements:
115 VAC, 10 A, 90-120 psi, 6 cfm
1997 vintage.
ZYGO 8100 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 고급 IC 및 마이크로 프로세서를 정확하게 비파괴적으로 검사하도록 설계되었습니다. 이 혁신적인 시스템은 고급 검사 (Advanced Inspection) 및 도량형 (Metrology) 알고리즘을 사용하여 높은 정확도의 결함 및 이상을 감지합니다. 이 장치는 최적의 성능을 보장하기 위해 어플리케이션에 맞게 구성 및 최적화되었습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 결함 을 검출 하고 정정 하기 위한 고급 "알고리즘 '을 갖춘 독점 검사" 엔진' 이 기계 의 핵심 이다. 검사 엔진에는 수동 방법으로 감지하기 어려운 결함을 감지하기 위한 OCID (Optical Character Identification) 및 MPC (Multiple Pattern Comparison) 가 포함되어 있습니다. 검사 엔진은 모든 응용 프로그램에 대해 정확하고 균일 한 검사 절차를 제공합니다. 전체 스캔 및 측정 도구는 세 가지 구성 요소로 구성됩니다. 다중 채널 광원이 기판을 비추고 레이저 다이오드 검사 모듈 (Laser Diode Inspection Module) 은 기판에 있는 피쳐의 고해상도 이미지를 가져옵니다. 그런 다음 이러한 이미지는 알려진 패턴과 처리, 평가 및 비교됩니다. 에셋은 오픈, 쇼트, 라인 너비의 변형, 누락 및 추가 피쳐, 오염 영역, 입자 존재 및 기타 유형의 표면 및 패턴 결함을 감지 할 수 있습니다. ZYGO 8100Mask & Wafer Inspection Model에는 프로그래밍, 데이터 취득 및 데이터 분석을위한 완전히 통합 된 고사양 PC 기반 제어 장비가 포함되어 있습니다. 컨트롤 시스템에는 대형 LCD 모니터와 사용하기 쉬운 터치스크린 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. 사용자 인터페이스는 다른 응용 프로그램 및 분석 도구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동화된 결과 처리, 자동 통과/실패 검사, 자동 운영 지원 보고를 제공합니다. 이 기계는 대용량 생산 시스템 (production systems) 과 검사 실험실 (inspection laboratories) 을 포함한 다양한 자동화 시스템과 호환되도록 설계되었습니다. 8100 Mask & Wafer Inspection Tool은 고급 기술, 자동화된 작업, 사용 편의성을 결합하여 효율적이고 안정적인 성능을 제공합니다. 이 자산은 고정밀 IC와 마이크로프로세서 (micro-processor) 를 검사하는 데 적합하며, 선도적인 반도체/전자 제조업체의 선택입니다.
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