판매용 중고 WYKO / VEECO RTI #9234521

WYKO/VEECO RTI Mask 및 Wafer Inspection Equipment는 실리콘 웨이퍼, 마스크 및 기타 반도체 기판의 무결성을 평가하는 데 사용되는 포괄적 인 메커니즘입니다. 광학 현미경 (optical microscopy), 전기 테스트 (electrical testing) 및 비파괴 이미징 (non-destructive imaging) 과 같은 다양한 기술을 결합하여 얇은 막, 새로운 구조 및 부품 등과 같은 샘플을 평가합니다. 이 시스템의 광학 현미경은 1.0 나노 미터 (1.0 나노 미터) 정도의 매우 높은 해상도의 샘플을 관찰, 이미징 및 분석 할 수 있습니다. 현미경 이미지는 SEM, CCD 또는 TIFF와 같은 다양한 형식으로 읽을 수 있습니다. 현미경에는 고급 이미지 처리 모듈 (스티칭, 수퍼 해상도, 명암비 향상) 이 있어 기능과 결함을 분석할 수 있습니다. WYKO RTI 장치에서 제공하는 전기 테스트 기능은 기판의 전기 특성을 결정합니다. 기본 저항기에서 매우 복잡한 구조에 이르기까지 다양한 재료 및 통합 마이크로 서킷 (microcuruit) 을 포함합니다. 테스트 절차는 접촉, 접점 없음 (커플 커플 링 사용) 또는 비접촉 테스트에 적합하며, 저항성, 커패시턴스, 임피던스 등의 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한, 기계는 비파괴 이미징 (non-destructive imaging) 을 사용하여 샘플의 지형을 검사하고 패턴, 그레인 크기, 정렬 등의 피쳐를 검색합니다. 이미지 처리 기능 (Imaging Facility) 은 더 나은 대비 모드로 설계되어 광범위한 어플리케이션을 지원합니다. X-ray, e-beam 및 집중된 이온 빔 기술을 사용하여 정확한 세부 사항을 수집 할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 패키지를 통해 데이터 처리 및 분석 (Data Processing and Analysis) 을 수행할 수 있으며, 오류 감지 및 수정, 사용자 정의 설정으로 매개변수 제어 등이 가능합니다. 다른 기법 에서 얻은 "데이터 '를 한 개 의" 파일' 로 결합 하여, 더욱 세부적 으로 기판 재료 를 분석 할 수 있다. 이때 얻은 데이터는 이미지 (image) 나 데이터 (data) 로 제시될 수 있으므로 추가 검사 및 분석이 가능합니다. 이 사용하기 쉬운 도구는 사용자 친화적이며, 연구/생산 테스트의 효율성 향상, 연구 실험실 또는 제조 (Manufacturing) 의 효율성 향상에 도움이 될 수 있습니다.