판매용 중고 WACCO AVIS-B-10 #293661612

WACCO AVIS-B-10
ID: 293661612
웨이퍼 크기: 12"
Auto visual inspection systems, 12" 2004-2018 vintage.
WACCO AVIS-B-10은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 사용자에게 뛰어난 정확도, 신뢰성 및 속도를 제공합니다. 이 시스템은 광학 이미징 장치 (optical imaging unit) 를 사용하여 스크래치, 핀홀, 먼지 등 웨이퍼 및 마스크의 결함을 감지하고 측정합니다. 이 기계의 혁신적인 설계는 스캐너 (scanner) 나 인간 수동 검사 (manual manual inspection) 와 같은 기존의 검사 방법과 비교할 때 더 많은 정확성과 반복성을 제공합니다. AVIS-B-10에는 두 가지 주요 검사 모드 (동종 배경 모드 및 이기종 배경 모드) 가 있습니다. 동종 배경 (Homogeneous Background) 모드는 웨이퍼 또는 마스크의 유사한 영역에서 발생하는 얕은 결함을 검사하는 데 사용됩니다. 이 모드는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 서피스 (mask surfaces) 에 흩어져 있는 회절된 광원을 분석한 다음 검사되는 영역의 이미지와 비교되는 참조 이미지 (reference image) 를 생성하여 작동합니다. 차이점이나 결함이 발견되면, 도구는 즉시 사용자에게 경고할 수 있습니다. 이질적인 배경 (Heterogeneous Background) 모드는 더 깊은 결함을 검사하거나, 동종 배경 (Homogeneous Background) 모드에 대해 웨이퍼 또는 마스크의 피쳐가 너무 복잡할 때 사용됩니다. 이 모드는 검사되는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 광학 이미지를 분석한 다음 참조 이미지를 생성합니다. 그러면 참조 이미지와 실제 이미지 간의 차이점이 비교되고, 감지된 모든 결함이 즉시 플래그 (flag) 됩니다. WACCO AVIS-B-10에는 자동 결함 분류 자산도 있습니다. 이 모델은 고급 인공 지능 알고리즘 (Advanced Artificial Intelligence Algorithm) 을 사용하여 참조 이미지를 스캔하고 미리 정의된 기준 세트와 비교하여, 장비가 결함을 잠재적 인 치명적인 결함 또는 잘못된 경보로 빠르게 분류 할 수 있습니다. 시스템 (System) 은 결함 유형을 더욱 분류하고 사용자에게 자세한 설명을 제공하므로 결함 (Defect) 의 특성과 해결 방법 (How to Address) 을 더 잘 이해할 수 있습니다. AVIS-B-10에는 정밀 측정 단위도 있습니다. 이 기계는 레이저 삼각 측량 도구 (laser triangulation tool) 를 사용하여 결함의 깊이와 길이의 크기를 정확하게 측정하며, 이를 통해 결함의 심각도와 해결 방법을 보다 정확하게 평가할 수 있습니다. 전반적으로 WACCO AVIS-B-10은 마스크 및 웨이퍼 검사와 관련하여 뛰어난 정확도와 속도를 제공합니다. 고급 자산 (Advanced Asset) 은 결함을 효율적으로 감지, 분류할 수 있으며, 이를 신속하고 정확하게 해결할 수 있습니다.
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