판매용 중고 WACCO Auto visual inspection system #293661625
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WACCO Auto Visual Inspection 장비는 반도체 제작에 사용하기 위해 개발 된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 다양한 금속, 유리, 세라믹, 석영, 심지어 폴리 이미드 (Polyimide), ITO 및 기타 빛에 민감한 표면에 이르기까지 다양한 샘플 재료를 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 고유한 라이트 필드 이미징 (Light Field Imaging) 과 포커스 제어 (Focus Control) 기술을 활용하여 결함 모양을 최적화하면서 검사 프로세스의 효율성을 극대화합니다. 이 기계에는 여러 이미징 모듈 (multiple imaging module) 이 장착되어 표면 결함과 서브면 결함을 동시에 감지할 수 있습니다. 표면 결함은 매크로 렌즈가 장착 된 CCD 카메라에 의해 감지되는 반면, 서브 표면 결함은 디지털 광도 그래프 (photomicrograph) 카메라를 사용하여 감지됩니다. 이 두 카메라에는 광학 줌 (optical zoom) 기능이 있어 재료 유형 (material type) 과 필수 해상도 (required resolution) 에 따라 배율을 조정할 수 있습니다. 이 도구는 식별을 돕기 위해 최대 1000 x 1600 픽셀 해상도의 이미지를 만들 수 있습니다. 또한, 사용자는 필드 (field) 의 깊이를 조정하여 결함을 더 잘 이해할 수 있습니다. 자동 시각 검사 자산은 검사의 정확성을 보장하기 위해 강력한 CAI (Computer Aided Inspection) 소프트웨어를 사용합니다. 이 소프트웨어는 이미징 모듈 (Imaging Module) 에서 촬영한 이미지를 분석한 다음 미리 정의된 기준 수락/거부 (Accept/Reject Criteria) 데이터베이스와 비교하도록 설계되었습니다. 그러면 소프트웨어가 결과를 쉽게 이해할 수 있는 형식으로 표시합니다. 모델의 종합적인 CAI (CAI) 기능을 통해 장치 또는 샘플에서 가장 작은 결함까지도 빠르고 정확하게 식별할 수 있습니다. 시각적 검사 프로세스 외에도 WACCO 자동 시각 검사 (Auto Visual Inspection) 장비에는 몇 가지 다른 유용한 기능도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 강력한 열 그래피 모듈 (thermography module) 과 통합되어, 사용자가 결함이 있음을 나타내는 샘플의 열 차이를 감지할 수 있습니다. 또한, 시료 와 주위 에서 입자 나 유기 오염 물질 을 탐지 하도록 설계 된 또 다른 "이미징 '" 모듈' 이 있다. 전반적으로, 자동 시각 검사 장치 (Auto Visual Inspection Unit) 는 반도체 재료의 정확한 표준을 검사하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 여러 개의 이미징 모듈, 강력한 CAI 소프트웨어 패키지, 통합 열 그래피 모듈이 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 기계는 장치 (device) 나 샘플 (sample) 에서 가장 사소한 결함까지도 신속하게 식별하고 분석할 수 있습니다. WACCO 자동 시각 검사 (Auto Visual Inspection) 도구는 종합적인 기능을 통해 반도체 제작 시설에 귀중한 자산입니다.
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