판매용 중고 VITRONICS SOLTEC 104873 #9175105

VITRONICS SOLTEC 104873은 UV-A LED (Light Emitting Diode) 광원과 독점 라인 및 에지 스캔 방법을 사용하여 IC (Integrated Circuit) 웨이퍼의 결함을 감지하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 85 미크론에서 1600 미크론으로 조정 가능한 다각도 확산 된 UV-A LED 조명을 사용하여 직경이 최대 150mm (6 인치) 인 IC 웨이퍼를 검사합니다. 이 장치에는 비접촉 레이저 간섭 장치 (non-contact laser interferometry unit) 가 포함되어 있으며, 장치를 IC에 레이저 선을 투영하고 편향 데이터를 수집하여 임계 치수를 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 104873은 IC 웨이퍼 (IC wafer) 의 인쇄 된 표면에서 또는 그 아래의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 최대 150mm 직경의 IC 웨이퍼에 대한 광 정렬 기능 (optical alignment features) 을 포함하여 여러 마스크 수준과 기능을 검사하도록 설계되었습니다. 사전 교정된 피드백 제어와 선형 모터 및 서보 제어 기술을 결합한 Precise Motion & Stage Tool 기술이 적용되어 제어 응답 범위 감소, 정확도 향상, 반복성 향상을 보장합니다. VITRONICS SOLTEC 104873 (VITRONICS SOLTEC 104873) 은 빠른 속도와 높은 품질의 성능을 갖춘 신뢰할 수 있는 자산으로, 시간당 최대 2,500 개의 웨이퍼 속도로 IC를 검사할 수 있습니다. 이 모델에는 강력하고 사용자에게 친숙한 EH2 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 장비를 손쉽게 설치하여 포괄적인 테스트를 수행하고 운영 작업을 극대화할 수 있습니다. 또한, 시스템은 작은 IC 기능을 감지, 측정 및 분석하는 데 사용할 수있는 향상된 WA (MicroVision Wafer Alignment) 기능을 제공합니다. 이 장치는 정확성과 정확성을 보장하기 위해 고급 알고리즘과 광학 검사 도구 (optical inspection tools) 로 설계되었습니다. 104873에 의해 사용되는 고급 도구에는 시각적 검사보다 정밀하게 IC에서 라인 너비와 패턴을 감지 할 수있는 SEM (Scanning electron microscopy) 이 포함됩니다. 또한 SOM (Scanning Optical Microscopy) 을 기반으로 한 매개변수를 사용하여 기계가 해상도가 높은 영역을 검사 할 수 있습니다. VITRONICS SOLTEC 104873은 또한 배경 검사를 할 수 있으며, 여기에는 이전 IC 프로세스의 먼지, 오염 물질, 오염 물질과 같은 분자를 식별하고 측정하는 패턴 인식 알고리즘을 사용하여 IC 웨이퍼 스캔이 포함됩니다. 또한 라인/공간 및 이미지 인식 기능을 측정하여 반도체 회로 제작 (semiconductor circuit fabrication) 또는 검사 (inspection) 와 같은 응용 분야에 적합합니다. 또한이 도구는 0.5 미크론 미만의 입자를 감지 할 수있는 온보드 입자 탐지로 설계되었습니다. 104873 은 IC 웨이퍼를 검사하는 데 이상적인 자산으로, 고급 광 도구를 사용하여 정확성과 정확도를 제공합니다. 또한이 모델에는 정확하고 반복 가능하며 포괄적 인 측정을 제공하는 비 접촉 레이저 간섭 장치 및 향상된 WA (MicroVision Wafer Aligner) 기능이 포함되어 있습니다. 또한, VITRONICS SOLTEC 104873은 배경 검사 및 소형 분자 검출에 적합하여 IC 웨이퍼를 검사하기에 이상적인 장비입니다.