판매용 중고 VIKING / DYMATIX VIS 100D #19172

VIKING/DYMATIX VIS 100D는 반도체 산업을 위해 설계된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 마스크 및 웨이퍼 기판에 대해 효율적이고 포괄적인 결함 감지를 제공합니다. 다양한 검사 매개변수와 높은 열 드리프트 (thermal drift) 보상 기능을 통해 높은 처리량을 보장합니다. VIKING VIS 100D는 고급 옵틱 및 이미지 처리 기술을 갖춘 완전 자동 웨이퍼 파이프 라인을 제공합니다. 이 장치는 고급 선형 어레이 스타일 빔 스캐닝 (beam scanning) 설계를 활용하여 높은 처리량, 낮은 위치 드리프트 및 고해상도 이미징을 보장합니다. 이는 빠르고 신뢰할 수있는 검사 프로세스를 보장합니다. 또한이 기계는 최적으로 튜닝 된 조명 소스 (lumination source) 와 고급 이미징 광학을 특징으로하며, 낮은 수차를 유지하면서 회절 (diffraction) 과 산포 (scatter) 를 잘 제어합니다. 이 도구는 다양한 마스크 및 웨이퍼 기판 (모양 및 크기 변화) 을 지원하여 높은 유연성과 처리량을 제공합니다. 이 자산은 강력한 이미지 처리 알고리즘으로 향상된 결함 감지 기능을 제공합니다. 이러한 알고리즘에는 글로벌 및 로컬 강도 비교, 확장, 기하학적 패턴 일치, 검사 결과에 대한 전체 자동 보고 등이 포함됩니다. DYMATIX VIS 100D에는 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있으며, 간단하고 빠른 작동을 보장하기 위해 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 강조된 피쳐에는 열 드리프트에 강하고, 높은 감도 측정, 극한 각도 및 입사각 (Angle of Incidence) 에 도달 할 수있는 독특한 저소음 감지기 (Low-Noise Detector) 가 포함됩니다. 이 모델은 또한 탐지 된 결함의 광범위한 모양, 크기 및 피치를 위해 0.1µm ~ 50äm의 높은 동적 범위 (dynamic range) 를 제공 할 수 있습니다. 픽셀 셀 구조는 또한 최대 1.5nm의 고해상도 시각화를 가능하게합니다. 또한 고급 이미지 데이터 관리, 이미지 영역 수정, 아티팩트 제거 (artifact remove) 및 패턴 생성 (pattern generation) 기능을 통해 정확하고 안정적인 결함을 감지할 수 있습니다. VIS 100D는 고급 옵틱 및 조명 시스템, 고도로 최적화된 감지 및 이미징 시스템, 고급 이미지 처리 알고리즘, 고해상도 이미징 등 다양한 애플리케이션 요구 사항과 구성 요소를 충족합니다. 이 제품은 복잡한 반도체 어플리케이션에 사용하도록 설계되었으며, 마스크 및 웨이퍼 기판에 효율적이고 안정적인 검사 기능을 제공합니다.