판매용 중고 VIKING / DYMATIX J-1 #9117519
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VIKING/DYMATIX J-1은 반도체 제조 산업을위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고정밀 광학 검사, 결함 검토, 중요 영역 분석, 다이 회전, 도량형 분석 등 포괄적인 기능을 제공합니다. 이 시스템은 벌크 CMOS, MEMS, 이미지 센서 장치 등 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형에 대한 다양한 검사 기능을 제공합니다. 광학 구조는 2 개의 현미경으로 구성되어 있으며, 다중 이미징 옵션을 허용합니다. 첫 번째 현미경은 전체 웨이퍼 또는 다이 레벨 이미지, 다이 당 결함 상태를 보는 컬러 TV 현미경입니다. 두 번째 현미경은 CD 또는 선 너비를 식별하는 기능, 표면 검사 기능을 제공합니다. 고유한 구성을 통해 스테레오 (2D) 와 디지털 (3D) 기능을 전환할 수 있습니다. 바이킹 J-1 (VIKING J-1) 은 또한 자동 정렬 및 웨이퍼 저항 측정을 제공하여 불필요한 수동 작동을 방지합니다. 또한, 고급 이미지 처리 기능을 통해 패턴화된 영역과 패턴화되지 않은 영역을 자동으로 감지, 검사, 분석할 수 있습니다. 또한, 결함 추적 및 분석을위한 다이 맵 (die map) 기능과 공정 유발 결함 및 장애에 대한 스크리닝 기능을 상호 연관시킬 수 있습니다. 최고의 정밀도를 보장하기 위해 이 장치는 독점 광학 픽셀 어레이를 사용하여 이미징 성능 향상, 폐색 (closcusion) 을 줄였습니다. DYMATIX J-1 시스템은 사용자의 요구 사항에 따라 업그레이드할 수 있습니다. 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 알고리즘을 자랑하며, 모든 작업의 정확도를 높이도록 구성할 수 있습니다. 또한 패라메트릭 색상 매핑 (parametric color mapping) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 을 포함한 포괄적인 결함 분석 패키지가 있습니다. 이 도구는 인라인 패턴 최적화 (In-line pattern optimization) 옵션을 통해 추가 광학 정렬 도구 없이도 정렬과 포커스를 시각적으로 검사할 수 있습니다. 또한, J-1 자산은 점점 더 엄격한 업계 품질 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 포토마스크, LCD/LCOS, 스크라이브 라인, 스루 홀, 4면 정렬, 결함 감지 등 다양한 테스트 범위를 제공합니다. 처리율이 높으며 고해상도 이미징 (Image-Resolution Imaging) 기능을 통해 전체 웨이퍼/다이 (Wafer/Die) 분석을 위한 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 요약하면, VIKING/DYMATIX J-1은 강력하고 정밀도가 높은 웨이퍼 및 마스크 검사 모델로, 결함 분석 및 도량형을위한 자동화 및 수동 기능을 제공합니다. 포괄적인 광/이미지 처리 기능과 패턴 인식 알고리즘, 인라인 (in-line) 패턴 최적화 옵션을 제공합니다. 업계 최고의 품질 보증 및 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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