판매용 중고 ULVAC DIS 3000 #9158500
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ULVAC DIS 3000은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 고정밀 장비입니다. 주요 QC 및 운영 환경에 필요한 최고 수준의 성능과 안정성을 제공합니다. DIS 3000 시스템은 고급 이미징 기술과 정교한 조명 (lighting) 을 통합하여 탁월한 정확성과 해상도를 제공하므로 복잡한 구조와 패턴을 몇 초 안에 검사할 수 있습니다. 검사 장치에는 정확한 photomask 및 wafer 이미지 정렬을 위해 두 개의 개별 정렬 단계가 있습니다. 또한 높은 주변광 조건에서도 안정적이고 균등하게 분산 된 조명을 제공하는 고출력, 30 와트의 비 일관성 광원이 특징입니다. ULVAC DIS 3000은 고유한 이미지 캡처 및 조명 기술을 채택하여 패턴 명암비 (pattern contrast) 와 결함 분석의 가장자리 선명도를 최대화합니다. DIS 3000 은 또한 고품질 이미지 스토리지 기능을 제공합니다. 이미지를 JPEG, TIFF, BITMAP 등 가장 많이 사용되는 파일 형식으로 저장, 볼 수 있습니다. 또한 기본 제공 데이터베이스 (BIST) 를 통해 이미지를 저장하고, 즉시 파일을 검색하여 결함을 신속하고 정확하게 감지할 수 있습니다. ULVAC DIS 3000 의 고속 (high speed) 기능을 통해 대규모 웨이퍼를 신속하게 샘플링하고, 일상적인 작업을 수행하는 동안 시간을 절약하며, 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, DIS 3000 전용 소프트웨어 패키지를 사용하면 자동화된 다이 (Die) 정렬 기능을 생성할 수 있으며, 이를 통해 불필요한 수동 웨이퍼 정렬 (Manual Sorting) 을 방지하고 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 이 도구에는 반도체 미세 구조에 대한 상세한 결함 분석 및 패턴 인식 (pattern recognition) 을 수행하기 위한 강력한 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 결함, 패턴화, 조직학적 데이터를 분석하는 포괄적인 툴을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 를 보다 정확하게 보고하고 정렬합니다. ULVAC DIS 3000은 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사를 제공하는 강력하고 안정적인 도구입니다. 첨단 이미징/조명 기술, 고속 성능, 종합적인 소프트웨어 툴을 통해 QC 및 프로덕션 환경에서 탁월한 수준의 정확성과 성능을 제공합니다 (영문).
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