판매용 중고 TROPEL Ultra Sort 150 #9390958
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9390958
Flatness tester
Grazing: Incidence interferometer
With diameter 150mm
Graphic User Interface (GUI)
High precision robot
With prealigner
Cassette to cassette wafer transport capability
Robot end effector diameter 2" ~ 6"
NIST Traceable calibration
Verification assembly
Universal chuck assembly measures
Flatted, 2" ~ 5"
Notched various materials, 6" ~ 8"
Workstation: High speed
Operating system: Windows XP Professional
High-resolution, 17" LCD Monitor
Ethernet local area network interface
Extended range
Accuracy (XRA)
Typical sensitivities:
Wafers:
Polished 3 µm / fr
Lapped 5.5 µm / fr
Wafer thickness measurement
Repeatability = 0.3 µm (Sigma over 25 Measurement)
Temperature sensitivity of the ultrasort system: ~2 µm/°C.
TROPEL Ultra Sort 150은 반도체 측정의 정밀성에 혁명을 일으키는 획기적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 스캐닝 (Scanning) 및 이미징 (Imaging) 기술을 활용하는 이 시스템은 웨이퍼와 마스크의 복잡한 모양과 구조에서 결함과 불규칙성을 빠르고 정확하게 식별합니다. TROPEL ULTRASORT 150은 개별 레이어, 선 너비 및 간격, 오버레이 및 등록 공차, 최대 8 마이크로미터의 10 분의 1에서 표면 결함 등 광범위한 기능을 측정 및 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 최고 수준의 정확성과 정확성을 제공하는 탁월한 반복성 (repeatability) 과 신뢰성 (안정성) 을 제공합니다. 따라서 운영자는 측정값과 후속 결과가 정확하다는 것을 안심할 수 있습니다. 적응 이미징 기술을 사용하여 Ultra Sort 150은 지형 (togography), 패턴 강도 (pattern intensity) 또는 배경 환경 (background environment) 과 같은 요소를 자동으로 보상하여 가장 정확한 측정을 수행할 수 있습니다. 이 기술은 또한 수작업을 줄여 측정 속도와 정확도를 높입니다. 울트라소트 150 (ULTRASORT 150) 은 고급 이미징 기능 외에도 매우 직관적인 작업으로도 주목할 만하다. 훨씬 더 복잡한 시스템의 기능을 제공하지만, 보다 간단한 사용자 제어 기능을 제공합니다. 샘플 로딩에서 데이터 캡처 및 분석에 이르기까지, 각 단계는 간단하고 간편합니다. 전반적으로 TROPEL Ultra Sort 150 (TROPEL Ultra Sort 150) 은 중요한 산업 응용 프로그램의 웨이퍼와 마스크를 신속하게 검사하고 측정하는 효율적이고 안정적인 방법을 제공하는 놀라운 기계입니다. 첨단 이미징 공구 (advanced imaging tool) 와 직관적인 운영 (intuitive operation) 을 통해 다양한 반도체 생산 공정에 이상적이며, 생산용 공구가 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다