판매용 중고 TROPEL FlatMaster FM200 #9115976

TROPEL FlatMaster FM200 (TROPEL FlatMaster FM200) 은 다양한 기판에서 가장 까다로운 어레이의 정확하고 고해상도 이미지를 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 옵틱과 이미징 기술을 결합하여 1 미크론 해상도로 탁월한 정확성과 반복성을 달성합니다. 이 시스템에는 4 ~ 8 인치 웨이퍼 및 다양한 마스크 플레이트를 포함한 다양한 기판을 수용 할 수있는 300x300mm 스테이지가 있습니다. 자동화된 15 배의 오브젝티브 렌즈는 정확히 2mm에서 200mm까지 초점을 맞추고 최대 80 배율을 제공합니다. 고급 CMOS 센서는 최대 106MP 해상도를 제공하며 배율을 낮추고 정확도를 높입니다. FlatMaster FM200은 모든 유형의 마스크 및 웨이퍼 검사를 허용하는 다용도, 사용자 친화적 인 장치입니다. 단일 픽셀 결함 또는 픽셀에서 픽셀까지의 색상 및 밝기 변형을 감지할 수 있습니다. 입자, 줄무늬, 긁힘, 표면 질감, 부식, 결정 구조, 도금, 수분, 누출 및 마스크 정렬 오류를 포함하여 여러 종류의 결함을 자동으로 탐지 할 수 있습니다. 튜닝 및 보정 할 수있는 false positives를 정의하는 기능이 있습니다. 이 기계에는 오프 축 조명, 균일 한 UV 조명, 조명의 편광, 고급 광학 필터, 고급 열 관리 등 최적의 성능을 보장하는 보호 기능 모음이 포함되어 있습니다. 또한 edge detection, auto focus, noise reduction, color correction, flat field correction, enhanced quality control 및 printable reports와 같은 정확한 이미징을 보장하는 소프트웨어 기능이 장착되어 있습니다. TROPEL FlatMaster FM200은 또한 다양한 사용자 친화적 인터페이스 도구를 제공하여 운영자가 다른 검사를 위해 설정 매개변수를 사용자 정의하고 프로파일을 저장할 수 있도록 합니다. 또한 '자동 예외 보고서 (automated exception report)' 와 '높은 확대 이미지 (high-magnification image)' 를 생성하여 상세한 분석 및 추가 결함 분류와 같이 지속적인 워크플로를 제공하는 데 도움이 되는 기능도 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 자동 마스크, 웨이퍼 결함 감지 및 분석을위한 다양한 고급 기능을 제공합니다. 고급 알고리즘은 결함을 정확하게 식별, 분류 및 정량화하는 데 사용됩니다. 또한, 포괄적인 고급 분석 도구 (Advanced Analysis Tools) 를 통해 다양한 이미지 소스에서 데이터를 추출하고 분석할 수 있습니다. 작업 로그 (Activity Log) 및 시스템 프로파일 (Machine Profile) 을 사용하면 기록 보존 및 공구 성능의 효율적인 관리를 용이하게 할 수 있습니다.