판매용 중고 TROPEL Flatmaster 200 #9116638

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ID: 9116638
빈티지: 1997
Flatness analysis system Interferometer/laser with cable Controller: currently non-operational 1997 vintage.
TROPEL Flatmaster 200은 반도체 제작에 사용하도록 설계된 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 다양한 이미지 처리 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼 모두에 대한 마이크로일렉트로닉 패턴 (microelectronic pattern), 결함, 관심 매개변수 등을 신속하게 검사하고 분석합니다. Flatmaster 200에는 고급 고해상도 컬러 이미징 시스템, 5 축 모션 유닛, 3 단계 결함 감지기 등 여러 기술이 장착되어 있습니다. 고해상도 컬러 이미징 (Color Imaging) 도구는 탁월한 선명도와 해상도로 마스크 및 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 5축 동작 에셋을 사용하면 축당 500mm 의 최대 이동 (travel) 을 갖는 샘플 영역을 정확하게 측정 및 배치할 수 있습니다. 또한, 3 단계 결함 감지 모델은 크기나 패턴 유형에 관계없이 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 에 나타나는 모든 결함이 감지되도록 합니다. TROPEL Flatmaster 200은 하드웨어 외에도 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 다양한 소프트웨어 프로그램을 갖추고 있습니다. 비전 (vision) 소프트웨어는 직관적인 인터페이스를 제공하여 이미지를 신속하게 분석하고 패턴, 결함, 관심 매개변수 등을 감지할 수 있습니다. 측정 소프트웨어를 사용하면 임계 치수 (CD), 선 너비 변형 (LOVS) 및 측면 각도 변형 (SAV) 과 같은 중요한 매개변수를 분석할 수 있습니다. 또한, 보고 장비를 사용하면 검사 결과에 관한 종합적인 보고서를 편리하게 생성할 수 있습니다. 전반적으로, Flatmaster 200은 혁신적인 이미징 및 모션 기술, 강력한 비전 (vision) 및 측정 소프트웨어, 다목적 보고 시스템으로 인해 나머지 시장에서 두드러집니다. 이 마스크 및 웨이퍼 검사 장치 (Mask and Wafer Inspection Unit) 는 탁월한 정확도와 정확도를 제공하며 반도체 제작에서 자동 검사를위한 완벽한 솔루션입니다.
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