판매용 중고 TORAY Inspectra #9313595

TORAY Inspectra
ID: 9313595
Wafer inspection system.
TORAY 인스펙트라 (TORAY Inspectra) 는 웨이퍼와 마스크 모두에서 표면 및 지면 구조를 효과적으로 측정하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 광학 시스템 (Optics System), 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 및 패턴 인식 (Pattern Recognition) 알고리즘을 통해 광범위한 기능을 정확하고 정확하게 측정할 수 있습니다. Inspectra의 핵심에는 고급형 레이저, 회절 격자 및 광학 렌즈로 구성된 특허를받은 OLS (Optics, Laser, and Scanner) 장치가 있습니다. 이 기계 는 변조 된 "레이저 '광선 의 광선 을" 샘플' 에 방출 하도록 설계 되었으며, 그 다음 에 "샘플 '의 원소 와 상호 작용 하여 고유 한 신호 를 만든다. 이 신호는 추가 분석을 위해 고해상도 CCD 카메라에 공급됩니다. TORAY Inspectra의 소프트웨어 구성 요소는 패턴 인식 및 이미지 향상 기능을 제공합니다. 알고리즘을 사용하여 샘플의 특정 피쳐를 식별하고 정량화 (quantified) 합니다. 응용 프로그램에 따라, 이미지에 대한 이러한 해석을 사용하여 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 무결성 (integrity) 과 관련된 피쳐 크기, 오버레이 및 기타 중요한 특성을 결정할 수 있습니다. 또한 Inspectra에는 실시간 측정 기능이 포함되어 있으며, 보정 및 빠른 이미지 캡처가 가능합니다. 이 혁신적인 기술을 통해 최소 설치 시간으로 샘플 (sample) 의 특성을 신속하게 측정할 수 있습니다. TORAY Inspectra에는 분석 데이터를 저장할 수 있는 프로세스 모니터링 도구도 있습니다. 이 기능을 사용하면 시간이 지남에 따라 샘플의 동작을 자세히 살펴볼 수 있으며, 이전 이벤트 (event) 와 이미지 (image) 를 비교할 수도 있습니다. 전반적으로 Inspectra는 효과적이고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 혁신적인 OLS 모델, 고급 패턴 인식 알고리즘, 실시간 측정 (real-time) 기능을 통해 기능 크기, 오버레이 및 기타 중요한 특성을 전문적으로 정량화하여 품질 관리 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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