판매용 중고 TORAY Inspectra #9137298

TORAY Inspectra는 빠르고 포괄적 인 표면 결함 분석을 제공하는 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 소자 제조, MEMS, 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 등 다양한 응용프로그램에 적합한 도구다. 이 시스템은 고속 포커스 (focus) 를 사용하고 이미징을 강조표시하여 기판의 이미지를 캡처하고 결함을 식별합니다. 자동 이미지 수집 장치 (Automatic Image Acquirition Unit) 를 통해 보다 빠르고 효율적으로 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 기계는 프로파일, 두께, 균일성 등 다양한 중요한 웨이퍼 매개변수를 측정할 수도 있습니다. 이 도구의 주요 구성 요소는 포커스 컨트롤러, 광원, 프로세서, 이미지 센서입니다. 포커스 컨트롤러는 광원과 이미지 센서의 위치를 제어합니다. 이를 통해 기판 표면에 대한 매우 상세한 분석을 할 수 있습니다. 광원은 모니터에 이미지를 표시하는 데 사용되며, 프로세서는 이미지를 미리 정해진 결함 크기 (defect-size) 와 모양 (shape) 과 비교하는 데 사용됩니다. 자산은 큰 결함과 작은 결함을 모두 식별하도록 설계되었습니다. 이미지 센서는 크기, 모양, 강도 수준이 다른 이미지를 캡처하여 더 정확한 감지 (detection) 기능을 제공합니다. 결함 감지 임계값은 대상 결함 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 결함 감지 및 분석을위한 다양한 옵션을 제공합니다. 세로방향과 가로방향 모두 "결함 '을 감지하고" 결함' 을 조합해 정확한 판단을 할 수 있다. 또한 각 방향 수동 및 자동화에 대해 두 가지 유형의 분석을 제공합니다. 따라서 사용자가 데이터를 분석하고자 하는 방식의 유연성이 향상됩니다. 결론적으로, 인스펙트라 (Inspestra) 는 빠르고 포괄적 인 표면 결함 분석을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 효과적이고 고급 도구입니다. 여기에는 고속 초점, 이미징 장비 강조, 이미지 분석 프로세서, 결함 크기 조절 가능 임계값 등이 포함됩니다. 이 제품은 제작자에게 매우 적합한 시스템으로, 크고 작은 결함을 신속하게 파악하고 분석할 수 있게 해 줍니다.