판매용 중고 TORAY Inspectra-3000 FR 200 #9157738

TORAY Inspectra-3000 FR 200은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크, 웨이퍼 및 기타 기판 재료를 자세히 분석하여 결함 및 프로세스 특성에 대한 비파괴적 (destructive) 분석을 제공합니다. 이 시스템은 포토 마스크 (photomask) 를 포함한 다양한 재료에서 입자, 선, 면적 및 두께 결함을 감지 할 수 있습니다. 라인 피치, 불리한 개발 패턴, 입자, 오염 물질, 필름 결함 등 다양한 결함 유형을 지원합니다. 또한, 이 장치에는 고해상도의 기계적 결함, 표면 결함, 개방형 반바지 등을 감지할 수 있습니다. Inspestra-3000 FR 200의 해상도는 1.2 x 0.9 미크론이고 시야는 0.7 x 0.5mm입니다. 검사 요구를 충족시키는 다양한 이미징 옵션이 있습니다. 3D 이미지 구성을 통해 사용자는 더 넓은 심도와 공간 해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 매우 작은 결함을 감지하고 샘플의 밝은, 어두운, 회색 영역에서 미묘한 차이를 인식 할 수 있습니다. 이 도구에는 자동화된 정렬, 포커싱, 모서리 감지 기능이 있어 정확도가 향상되고 설정 시간이 단축됩니다. 이 자산은 소프트웨어/하드웨어 아키텍처도 단순화되어 사용이 간편하고, 유지 관리가 용이합니다. 또한 데이터를 손쉽게 로드하고 분석할 수 있으며, 데이터 분석/보고 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 다크 필드 이미징, 광학 현미경, 스캐닝 전자 현미경, 형광 및 패턴 인식과 같은 다양한 이미징 모드 및 분석 도구를 지원합니다. 이 장비에는 자동 이미지 획득 및 분석 (automated image acquisition and analysis) 알고리즘이 장착되어 있어 웨이퍼나 포토마스크의 결함을 자동으로 분석합니다. 이렇게 하면 프로세스의 속도가 빨라지고 시스템의 신뢰성이 높아집니다. 결론적으로 TORAY Inspectra-3000 FR 200은 효율적이고 정확한 재료 검사를 위한 강력한 도구입니다. 자동 (automated) 기능을 통해 결함 및 프로세스 특성을 정확하게 분석, 파악할 수 있으며, 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 기능을 통해 샘플의 특성을 자세히 파악할 수 있습니다.