판매용 중고 TORAY Inspectra-1000SX III #9067501

TORAY Inspectra-1000SX III는 여러 세대의 노드를 제조하는 반도체 백엔드 제조를위한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 검사, 입자 검사, 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 에 탁월한 다양한 고급 구성 요소를 제공합니다. 이 장치는 마스크 및 웨이퍼를 검사하기위한 풀 필드, 고해상도 이미징 머신 (full-field, high-resolution imaging machine) 을 통합 한 자동화 모델입니다. 지표면· 지표면 입자에 이르는 다양한 결함을 감지할 수 있는 광학 현미경을 활용해 섬유화 (delamination), 균열 (crack), 오염 물질 (contaminant), 거시적 결함 (macro-defects) 을 포함한다. 이미지를 개선하기 위해 Inspectra-1000SX III에는 표면 입자를 필터링하고 확대하여 결함 감지 및 자동 결함 분류를 쉽게 수행하는 '결함 향상 필터 (Defect Enhancement Filter)' 가 있습니다. 이 도구는 또한 강력한 그라디언트 조명 (gradient illumination) 을 사용하여 인공 배경을 효율적으로 제거하고 이미지 획득 중 결함을 개선합니다. 또한 고급 자동 초점 기능 (auto-focus capability) 을 활용하여 가장 적합한 초점 조건을 자동으로 찾아 가능한 최상의 이미지를 생성합니다. 정확성과 정확성과 관련하여 TORAY Inspectra-1000SX III는 몇 가지 혁신적인 기술을 사용하여 일관되고 안정적인 데이터를 제공합니다. 'Structured Illumination' 기능은 0.5 미크론 미만의 정확도로 매우 고해상도 이미지를 가능하게합니다. 또한, 이 에셋에는 다른 검사 방법에 비해 더 정확한 검사를 제공하는 강력한 적응형 True Color 센서가 제공됩니다. 검사 모델은 매우 구성 가능하도록 설계되었으며 웨이퍼 터치 프로브 (Wafer Touch Probe), 자동 웨이퍼 처리 장비, 풀 컬러 모니터 (Full-Color Monitor), 자동 결함 측정 시스템 (Automated Defect Measurement System) 과 같은 여러 가지 옵션 컴포넌트를 수용할 수 있습니다. 따라서 이 장치는 고정밀도 이미지를 검사하고 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 응용 프로그램에서 놀라운 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TORAY Inspirtration-1000SX III는 반도체 백엔드 제조 공정에 대한 훌륭한 검사 기계입니다. 첨단 이미징 (Advanced Imaging), 조명 기술 (Illumination Technologies) 을 통해 높은 정확도를 제공하며, 다양한 옵션을 통해 검사 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이렇게 하면 마스크 및 웨이퍼를 극도로 정밀하고 정확하게 검사할 수 있는 최적의 선택이 됩니다 (영문).