판매용 중고 TORAY Inspectra-1000EX-F #9353810

TORAY Inspectra-1000EX-F는 포토 마스크, 레티클, 리소그래피 정렬 대상 및 웨이퍼의 결함을 감지하기위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고속 스캐닝 (Scanning) 및 고급 (Advanced) 알고리즘을 활용하여 다양한 결함을 감지하는 자동화된 고정밀 광학 검사를 제공합니다. 이 장치에는 이미지 획득을위한 고해상도 CCD 카메라와 포지셔닝을위한 레이저 스팟 (laser spot), 향상된 검사를 위한 브라이트필드 광원 (brightfield light source) 및 다크필드 조명 (darkfield lighting) 이 장착되어 있습니다. Inspestra-1000EX-F는 입자, 핀 홀, 공백, 선 등 다양한 심각한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 고급 패턴 인식 (advanced pattern recognition) 알고리즘과 같은 고급 알고리즘을 사용하여 심각한 결함을 식별하고 분류합니다. 머신은 결함 데이터에 대한 실시간 이미지 분석 및 통계 분석을 수행하는 이미지 분석 장치 (image analysis unit) 를 통합합니다. 또한, 이 도구를 사용하면 선 너비, 다이 투 다이 간격, CD 값과 같은 서브 미크론 피쳐를 정확하고 반복적으로 측정 할 수 있습니다. TORAY Inspectra-1000EX-F는 또한 감지된 모든 결함을 임계, 주, 부, 소음의 네 가지 범주로 분류하는 결함 분류 기능을 제공합니다. 결함 분류는 사용자 정의 기준 (예: 결함 크기, 모양, 위치) 에 따라 결정될 수 있습니다. 또한, 에셋을 사용하면 측정된 값과 사용자 지정 임계값을 정확하게 비교하여 결함을 더 분류할 수 있습니다. 이 모델은 웨이퍼 (Wafer) 의 양쪽을 동시에 검사하기 위한 자동 프로그램과 편리한 장비 작동을 위한 대화식 GUI (Graphical User Interface) 를 포함한 여러 가지 옵션으로 제공됩니다. Inspectra-1000EX-F에는 여러 통신 프로토콜과 다른 장비와 상호 작용하기위한 다양한 신호 통합 커넥터 (signal integration connector) 도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 시스템은 사용이 간편한 운영자 교육 프로그램 (Operator Training Program) 을 통해 새로운 사용자를 효율적으로 운영 및 교육할 수 있습니다. 결론적으로, TORAY Inspectra-1000EX-F (TORAY Inspirtra-1000EX-F) 는 매우 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계로, 광범위한 결함을 안정적이고 정확하게 감지합니다. 이 도구는 자동 양면 웨이퍼 검사 및 결함 분류와 같은 여러 기능 (예: 사진 마스크, 레티클, 리소그래피 대상, 웨이퍼 등) 을 정확하고 효율적으로 검사할 수 있도록 설계되었습니다.