판매용 중고 TOPCON WM 3000 #9106563

TOPCON WM 3000
ID: 9106563
빈티지: 1999
Particle inspection system, 1999 vintage.
TOPCON WM 3000 (TOPCON WM 3000) 은 반도체 제작의 결함을 효율적으로 선별 및 평가하기 위해 설계된 완전 자동화 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고속, 고해상도 결함 검사에 최적화된 고급, 강력한 하드웨어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 또한 경로, 매개변수, 한계를 쉽게 프로그래밍하여 현미경 검출하기 어려운 결함을 정확하게 측정할 수 있는 색상 코드 디스플레이가 포함되어 있습니다. WM 3000을 사용하면 개별 기능, 서피스, 재료를 테스트하여 결함과 비교할 수 있습니다. TOPCON WM 3000에는 2 개의 독립적 인 하향식 카메라가 장착되어 있으며, 그 중 하나는 색상 제어 및 가시 범위에서 이미징 용으로 필터링 된 Infra-Red (IR) 입니다. 다양한 크기, 모양, 개체의 기능을 검사하기 위해 다양한 빔릿, 렌즈, 필터, 조리개 설정으로 설계되었습니다. 두 카메라 모두 Illuminator X-Y-Z 스캔 시스템과 동기화되어 정확한 위치와 고해상도 이미징을 위한 반복 가능한 집중식 빔을 제공합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 작업공간에는 여러 매개변수 설정이 있으며, 여기에는 자동 콜아웃 (auto-callout) 및 수학적 형태학 함수를 통합하여 정확한 결함 인식 (defect recognition) 을 보장하는 고급 이미지 인식 장치 (advanced image recognition unit) 가 포함됩니다. 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 머신 (automated mask and wafer inspection machine) 은 패턴 인식 프로세스와 통합되어 정의된 결함 특성을 제공합니다. 사용자는 또한 형태 기반 알고리즘 (morphological based algorithm) 에 대해 다른 모델을 선택하여 잘못된 경보를 감지하고, 결과가 빠르게 필요할 때 정확도를 높일 수 있습니다. 이 도구의 다른 기능으로는 낮은 대비 이미지에서 작은 결함을 식별하기위한 에지 기반 SNR (signal-to-noise ratio) 계산, 도전적인 동적 이미지에서 결함을 인식 할 수있는 동작 감지 모듈 (motion-detection module) 이 있습니다. 또한 WM 3000 은 업계 표준 소프트웨어 패키지 (software package) 와 호환되므로 기존 결함 검토 프로세스에 효율적으로 통합되거나 고급 자동화 (automation) 기술을 사용할 수 있습니다. 에셋에는 마스크 및 웨이퍼 구성 프로세스를위한 자동 수정 (auto-correction) 옵션도 있습니다. 특정 요구 사항을 충족하기 위해 배포되며, 디지털 출력 인터페이스 (Digital Output Interface) 를 통해 데이터베이스 및 기타 소프트웨어 툴에 쉽게 연결할 수 있습니다. 이 효율적인 검사 모델은 매우 사용자 친화적이며 체계적이며, 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 의 생산성을 극대화하기 위해 설계되었습니다.
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