판매용 중고 TOPCON WM 3 #9250106
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TOPCON WM 3은 고급 이미지 처리 기술을 사용하여 제작 된 마스크 및 웨이퍼의 결함을 감지하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 진정한 RGB 조명을 갖춘 통합 4 뷰 광학 검사 시스템이 있습니다. 결함 탐지에서 더 높은 정확도를 달성하기 위해, 이 장치는 고급 패턴 매칭 알고리즘을 사용하여 다른 마스크 또는 웨이퍼를 동시에 검사 할 수 있습니다. 이 기계는 고해상도 카메라 옵틱을 기반으로 탁월한 이미지 획득 기능을 제공합니다. 또한 통합 된 하드웨어 및 소프트웨어 기반의 반사 방지 (anti-reflection) 및 플레어 감소 (flare reduction) 기술을 통해 검사된 마스크와 웨이퍼의 선명하고 선명한 이미지를 제공합니다. 이 도구의 디지털 카메라에는 고해상도 바이어 (Bayer) 와 RGB 단색 패턴이 결합되어 있습니다. TOPCON WM-3 자산의 결함 감지 (Defect Detection) 기능은 우수하며, 중소형 결함을 모두 감지하고 정확하게 분류할 수 있습니다. 모델은 고급 패턴 일치 알고리즘으로 최대 1 마이크론 (sub-micron) 크기의 결함을 자동으로 감지 할 수 있습니다. 또한 표면 비 균일성과 같은 다른 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 입자, 긁힘, 얼룩, 디어 미네이션 또는 오염과 같은 다양한 종류의 결함을 감지 할 수 있습니다. WM 3 시스템은 다양한 결함과 Wafer 결함과 마스크 사이의 상대적 위치를 측정, 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 여러 이미지를 빠르게 처리 할 수있는 고속 데이터 처리 시스템이 포함되어 있습니다. 그런 다음 수집된 데이터를 외부 시스템으로 내보내서 추가 처리를 수행합니다. 또한 강력한 API (Powerful API) 를 제공하여 공구를 다른 시스템 또는 프로세스와 통합할 수 있습니다. WM-3 (WM-3) 자산은 여러가지로 다재다능합니다. 즉, 사용자는 필요에 맞게 모델을 맞춤형으로 구성하고 조정할 수 있는 다양한 방법을 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 강력한 자동화 장비를 통해 시스템을 손쉽게 사용, 구성할 수 있습니다. 전반적으로 TOPCON WM 3 장치는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 매우 강력하고 다양한 도구입니다. 탁월한 결함 감지 기능, 고속 데이터 처리 시스템, 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 광범위한 검사 및 분석 작업에 적합합니다.
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