판매용 중고 TOPCON WM 3 #9236040
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TOPCON WM 3은 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. '마스크 (mask)' 와 '웨이퍼 (wafer)' 는 다양한 고급 광학 검사 기술을 통해 높은 정확도로 검사할 수 있다. 이 시스템의 시야는 최대 250mm이며 등록, 노출 된 패턴, 외국 물체, 표면 오염 물질, 입자, 줄무늬 및 긁힘과 관련된 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 단일 웨이퍼 및 다중 웨이퍼 (wafer) 제품에 대한 포괄적인 결함 감지 도구를 제공합니다. 이 기계는 고급 스캔 기반 이미징 (scan-based imaging) 을 사용하여 대규모 시야를 빠르게 확보할 수 있으며, 가장 작은 프로세스 이상을 감지할 수 있습니다. 이 도구는 또한 플라나라이제이션 (Planarization) 및 워터마킹 (Watermarking) 과 같은 옵션 샘플 준비 기능을 제공하여 가장 어려운 결함까지도 안정적으로 감지 할 수 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 에셋은 사용자에게 친숙한 것으로, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 상황에 맞는 도움말을 포함합니다. GUI 를 사용하면 기능 (features) 과 작업 (task) 을 빠르게 탐색할 수 있고, 연산자의 기본 설정에 맞게 조정할 수 있는 다양한 설정이 제공됩니다. 이 모델은 또한 자동 결함 허용 (Automatic Defect Tolerancing), 자동 결함 마스킹, 다중 기능 결함 로컬라이제이션, 결함 분류 (옵션) 등의 다양한 생산성 향상 기능을 제공합니다. 이 장비는 특허받은 듀얼 암 (dual-arm) 설계로 인해 신뢰성이 높고 반복 가능한 검사 프로세스를 제공합니다. 시스템 암을 사용하면 결함 위치를 자동으로 추적하고 "허용" 여부를 확인할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량이 향상되고 수동 결함 제거와 관련된 잠재적 인 인적 오류가 제거됩니다. 또한 이중 암 (Dual-arm) 설계는 여러 웨이퍼 검사 작업을 위한 단계 및 반복 기능을 제공하여 프로세스 반복성 및 처리량을 더욱 향상시킵니다. TOPCON WM-3 (TOPCON WM-3) 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 모두 지원하는 포괄적인 솔루션으로, 고객에게 탁월한 가치를 제공합니다. 고급 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 견고한 설계를 통해 모든 운영 환경에 이상적인 선택이 가능합니다.
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