판매용 중고 TOPCON WM 3 #9226701

TOPCON WM 3은 반도체 포장 및 제작에 사용되는 TOPCON Corporation의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광학 현미경 웨이퍼 검사와 고해상도 검사 카메라, 고해상도 비디오 프로젝터 (video projector) 를 결합하여 웨이퍼 결함 감지 및 분석을 수행합니다. 기계적 손상, 부당 한 표면 처리, 오염 으로 인한 것 이든, "웨이퍼 '표면 에서 보이는 가장 작은 결함 을 감지 할 수 있다. TOPCON WM-3은 마스크, 패드, 범프, 경유 구멍 등 표준 및 고급 웨이퍼 패키징 형식의 광학 검사 및 분류를위한 고속 검사 장치입니다. 4 사분면 이미징은 초고해상도 PC 기반 서브 샘플링 카메라와 함께 LCD 모니터에서 사용할 수 있습니다. PC 기반 카메라에는 각 SAII (Sub-Sampling Auto Image Improvement) 영역에 대해 보간된 이미지 해상도를 독립적으로 조정하는 고각 경사 디자인과 전환 스위치가 있습니다. 결함 탐지의 경우, 기계는 고해상도 반사 유형 검사 카메라와 더블 마스크 (double-mask) 디자인을 사용하여 다양한 결함을 감지합니다. 이중 마스크와 TOPCON 독점 이미지 처리 기술의 통합은 탁월한 결함 해결을 제공합니다. 또한 추가 분석을 위해 결함 이미지를 저장할 수 있습니다. WM 3은 또한 패턴, 뒷면, 접촉 구멍 및 확산 패턴과 같은 투명 마스크를 검사하기 위해 IMI (Interferometric Mask Inspection) 기능을 제공합니다. IMI 모드는 서피스 형태나 다른 특성 (예: 회절 또는 색상 변화) 이 다른 마스크와 다를 경우에도 모든 마스크 패턴을 검사 할 수 있습니다. 이 도구에는 이미지 모델로 결함을 자동으로 분석하는 VPS (Video Projection Asset) 가 내장되어 있습니다. 장비는 미크론 수준의 결함을 감지하고 자세한 보고서를 생성 할 수 있습니다. 또한 마스크 침투, 범프, 간격 분석을 위한 인덱스 (index) 템플릿을 구성할 수 있는 완전 자동 데이터 분석 기능이 있습니다. WM-3의 사용자 친화적 기능에는 사용자 생산성 향상을 위한 직관적인 GUI를 제공하는 UI (User Interface) 가 포함됩니다. 공유 네트워크에 검사 데이터를 저장하고 공유하는 데이터 관리; 덩어리 결함 그룹과 위치, 치수, 특성을 제공하는 완벽한 분석 제품군 (complete analysis suite) 입니다. TOPCON WM 3은 반도체 웨이퍼 검사, 결함 감지 및 마스크 제작을위한 훌륭한 도구입니다. 탁월한 이미지 해상도와 자동 결함 분석 (Automatic Defect Analysis) 기능을 제공하여 웨이퍼 패키징 및 제작 프로세스의 일관성과 신뢰성을 보장합니다.