판매용 중고 TOPCON WM 2500 #9239634

TOPCON WM 2500은 반도체 웨이퍼에서 2D 및 3D 도량형 및 결함 감지를 수행하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 완전하게 자동화된 초정밀 검사 장치로서, 다양한 결함 감지 (defect detection) 기능을 통해 높은 정확성과 빠른 처리 속도를 제공합니다. 이 기계는 고품질 전동 XYZ 단계, 고급 High-NA 옵틱 및 자동 웨이퍼 매핑 기능을 결합하여 웨이퍼 이동의 잘못된 등록을 방지합니다. 검사 도구는 결함, 구덩이, 공백, 스크래치, 풀백 및 웨이퍼 표면의 노치 (notch) 나 입자 (particle) 차단 등과 같은 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. WM 2500에는 5 메가 픽셀 카메라가 장착되어 있어 최대 2.5 미크론 해상도의 고해상도 이미징이 가능합니다. 동력 Z축 덕분에 4 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 쉽게 수용 할 수 있습니다. 다양한 두께의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 결함 을 검사 하기 위하여 더 큰 "웨이퍼 '를 검사 할 때 특히 도움 이 된다. 자산의 소프트웨어와 결합된 자동 매핑 기능 (automated mapping feature with the asset's software) 은 각 노출에서 웨이퍼의 위치와 움직임을 정확하게 등록합니다. 이 모델은 전체 웨이퍼 서피스를 자동으로 검사하여 전면 (Front) 또는 후면 (Back Side) 비이상 (Non-Ideal) 기능을 빠르게 감지할 수 있는 강력한 소프트웨어에서 지원됩니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 자동화된 프로세스를 무제한으로 제어할 수 있도록 해 주며, 이 장비는 매우 다양하고 효율적입니다. 이 시스템은 클린 룸 (Cleanroom) 환경에 손쉽게 통합될 수 있으며 전원 공급 및 자동 중심이 완전합니다. 또한, 이 장치는 모든 표준 노트북 컴퓨터로 작동할 수 있으며, 종합적인 내장 데이터 로깅 머신이 있습니다. TOPCON WM 2500은 웨이퍼 검사 요구를 충족하는 안정적이고 정확한 솔루션을 제공합니다. 이 자동화된 도구는 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 비이상적 (non-ideal) 기능을 빠르고 정확하게 감지하여 모든 제조 환경에 이상적인 제품입니다.