판매용 중고 TOPCON WM 2500 #9227183

TOPCON WM 2500은 TOPCON Corporation에서 개발 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 단일 시스템에서 여러 웨이퍼 및 마스크 패턴 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 Gallium Nitride (GaN) 기판을 포함한 웨이퍼 기판의 패턴 정렬 오류를 분석하도록 설계되었습니다. WM 2500은 다양한 기능을 사용하여 웨이퍼 및 마스크 검사 작업을 수행합니다. 작업 영역이 넓어 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 패턴을 쉽게 정렬하고 볼 수 있습니다. 또한 고해상도 옵틱, 고속 디지털 신호 처리 및 3 차원 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다. 고해상도 광학에서는 와퍼 (Wafer) 와 마스크 패턴 (Mask Pattern) 의 정확한 분석 및 측정을 위해 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. 신호 처리 장치를 사용하면 빠른 이미지 데이터 분석 및 분류가 가능합니다. 레이저 자동 초점 장치를 사용하면 초점을 자동으로 측정하고 조정할 수 있습니다. 이 기계는 포괄적 인 결함 검사 기능도 제공합니다. 결함은 유형, 크기, 모양 및 영역에 따라 분류됩니다. 이 도구는 웨이퍼 맵 정보와 결함 요약 보고서도 제공합니다. 결함 검사 데이터는 프로세스 상관 관계 (process correlation) 를 추가로 분석하는 데 사용될 수 있습니다. 자산은 또한 품질 보증 및 설계 목적으로 웨이퍼 및 마스크 패턴을 분석 할 수 있습니다. fiducial 표시, 선 너비, 이미지 세그먼트 등과 같은 높은 정확도 측정 도구가 특징입니다. 또한 TOPCON WM 2500에는 photomask 이미지 통합 및 3D 이미지 형성과 같은 고급 이미징 기능이 포함되어 있습니다. WM 2500에는 최소한의 유지 보수가 필요하며 사용하기 쉽고 구성할 수 있습니다. 이 모델은 사용자 기본 설정 및 자동화 지침을 저장할 수 있으며, 따라서 작업을 간소화할 수 있습니다. 운영 및 분석이 용이한 다양한 툴로 구성된 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다 (영문). 결론적으로, TOPCON WM 2500은 다양한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제조 작업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다용도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 (Optic), 종합적인 결함 검사 기능, 이미지 분석 기능을 제공하여 반도체 산업을 위한 귀중한 도구입니다.