판매용 중고 TOPCON WM 10 #9243645

TOPCON WM 10
ID: 9243645
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2006
Wafer inspection system, 8"-12" 2006 vintage.
TOPCON WM 10은 빠르고 정확한 측정 및 결함 감지를 가능하게하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 실리콘 도량형 장치를 갖추고 있으며, 이는 높은 정확도의 나노 포지셔닝 (nano-positioning) 단계를 사용하여 전체 웨이퍼 또는 레티클을 정확하게 통과 할 수 있습니다. TOPCON WM-10은 강력한 렌즈 머신을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 이미지를 제공합니다. 여기에는 브라이트 필드 (brightfield) 모드와 다크 필드 이미징 (darkfield imaging) 모드 (웨이퍼 및 마스크의 정의를 최대화하고 결함 가시성을 높이도록 설계됨) 가 모두 포함됩니다. 또한 이 도구에는 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 기능이 포함되어 있어 시각 검사 결과를 개선하고 정확도를 높일 수 있습니다. 에셋은 또한 4 개의 레이저를 사용하는 독특한 4 채널 광학 스캐너를 갖추고 있으며, 이를 통해 X 축과 Y 축 모두에서 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 정확 하게 검사 할 수 있다. 또한, 이 모델에는 수많은 자동화된 도구 (automated tools) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 시간 단위로 다양한 측정 작업을 수행할 수 있습니다. 정확성을 보장하기 위해 WM 10에는 다양한 고감도 프로브 (Probe) 가 장착되어 있습니다. 이러한 프로브를 통해 사용자는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 구조의 모양과 크기를 정확하게 측정할 수 있지만 안정적인 결과를 유지할 수 있습니다. 또한 WM-10 은 여러 데이터 표준을 지원하므로 데이터를 다른 시스템으로 전송하고 원격 진단 (remote diagnosis) 또는 분석 (analysis) 을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 확장성 (Scalability) 을 염두에 두고 설계되었습니다. 즉, 모든 검사 응용 프로그램의 특정 요구를 충족하도록 조정할 수 있습니다. 전반적으로 TOPCON WM 10은 강력하고, 정확하고, 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템을 제공합니다. 고급 실리콘 도량형 (silicon metrology), 광 스캐닝 (optical scanning) 및 이미지 처리 기능으로 반도체 및 디스플레이 응용 프로그램을 검사하는 데 이상적입니다. 또한 멀티데이터 표준 지원, 확장성, 사용자 친화적 설계를 통해 모든 검사 작업에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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