판매용 중고 TOPCON Vi-4302 #9239633

TOPCON Vi-4302
ID: 9239633
Inspection system, 8"-12" Output: Up to 0.65 μm.
TOPCON Vi-4302 검사 장비 (TOPCON Vi-4302 Inspection Equipment) 는 반도체 웨이퍼에 대한 가장 작은 결함조차도 감지하도록 특별히 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 고급 인공 지능 알고리즘 (Advanced Artificial Intelligence Algorithm) 을 통해 금속 선, 접촉 구멍과 같은 가장 복잡한 개체조차도 정확하고 빠르게 검토할 수 있습니다. Vi-4302는 CMOS 및 BIPOLAR 설계를 포함한 다양한 웨이퍼와 작동하도록 최적화되었습니다. TOPCON Vi-4302에는 가장 미세한 세부 사항조차도 캡처하는 고해상도 500 만 픽셀 컬러 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 카메라는 다양한 알고리즘 (algorithmic) 방식을 사용하여 결함을 자동으로 감지하는 이미지 처리 장치 (image processing unit) 에 연결됩니다. 이 기계는 현미경으로 보이지 않을 수있는 선 너비 불일치, 간격, 긁힘, 패턴 약간 편차, 먼지 및 기타 오류/불규칙성과 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. Vi-4302는 또한 성능을 향상시키기 위해 여러 가지 다른 기술을 갖추고 있습니다. 검사 주기 시간을 줄이기 위해 선 단위 스캔 (line-by-line scanning) 방법을 사용하여 이미지를 캡처한 다음 신속하게 처리하여 결함을 식별합니다. 또한, 정확 한 모션 컨트롤 (motion control) 기능을 통해 검사 과정에서 웨이퍼가 정확하게 정렬되도록 합니다. 즉, 가장 작은 편차조차도 잘못된 검출이 발생할 수 있기 때문입니다. TOPCON Vi-4302 (TOPCON Vi-4302) 로 품질 검사를 수행하기 위해 이 도구는 디지털 필터를 사용하여 여러 레이어를 구분하는 고유한 레이어 분석 (layer analysis) 기능을 제공합니다. 또한, 이 자산은 자동화된 사용자정의 결함 감지 모델 (automated, user-defined defect-detection model) 을 통해 사용자가 다른 재료에서 특정 유형의 결함을 감지하는 데 사용되는 알고리즘을 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, Vi-4302 의 자동 결함 검토 (automated defect review) 기능은 특히 강력합니다. 특히 Vi-4302 는 장비가 중앙 서버에 이미지를 실시간으로 업로드할 수 있으므로 장애 감지 및 문제 해결이 빨라집니다. 이 시스템은 또한 검사 (Inspection) 세션에서 사용되는 모든 이미지를 쉽게 검색할 수 있도록 저장하므로 언제든지 검사할 수 있습니다. 전반적으로, TOPCON Vi-4302는 가장 까다로운 마스크 및 웨이퍼 검사 작업을 위해 특별히 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 검사 장치입니다. 사용자 친화적이고, 정확하며, 웨이퍼에서 가장 미세한 결함 (minute defect) 까지도 감지하는 프로세스를 빠르게 수행할 수 있는 기능으로 구성되어 있습니다.
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